| 研究課題/領域番号 |
07558180
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| 研究種目 |
試験研究(B)
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
河合 良信 九州大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (10038565)
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| 研究分担者 |
藤原 正巳 核融合科学研究所, プラズマ加熱研究系, 教授 (10023722)
上田 洋子 九州大学, 大学院・総合理工学研究科, 助手 (70274529)
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| キーワード | マイクロ波 / 大口径プラズマ / ECRプラズマ / マルチスロットアンテナ / シランガス / 反応性プラズマ |
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| 研究概要 |
新型のマイクロ波モード(2.45GHz)を用いて、直径20cm以上の高密度大口径ECRプラズマを生成し、プラズマCVDにより大面積薄膜を作成することを目的として実験を行った。初年度は、主に九大で開発したマルチスロットアンテナによるCVD実験を試み、次の成果を得た。
(1)プラズマの一様性は磁場勾配に強く依存し、勾配が低いほど一様性が良いことがわかった。
(2)軸方向にループアンテナを挿入し、電磁波の波形を測定した結果、共鳴点より前では、R波及びL波が存在し、共鳴点より後では、L波が存在することがわかった。
(3)ヘリウムガスにシランガスを供給し、反応性プラズマ中でヒーター付きのプローブによりプラズマの電子温度及び密度測定に成功した。
(4)ガラス基板上にアモルファスシリコン膜を作製し、その膜評価を行った。
(5)光学バンドギャップ、成膜速度、電気伝導度測定から、得られた膜質は従来の方式と比べてかなり良質であることが分かった。
(6)以上の結果は産業界で現在要求されている大面積薄膜製造装置の試作に大きく貢献出来る。
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