| 研究概要 |
相分離型状態図を構成する2種類の元素からなるAg/Ge,Al/Ge,Ag/Si系二層膜の組織変化について,オージェ電子分光(AES),走査型電子顕微鏡法(SEM),透過型電子顕微鏡法(TEM)により調べた結果,
1.蒸着のままの組織は,GeまたはSiの非晶質状態の下層と,AgまたはAlの多結晶状態の上層からなること,
2.二相領域内のアニールにより,下層のGeやSiは表面に出て結晶性クラスターを形成すること,
3.GeやSiの結晶性クラスターはしばしば,フラクタル状などの特異な形態を示すこと,
4.アニール後期には,上層と下層の入れ替りや各層の組成の変化は生じるが,二層構造自体は保たれること,
などが明らかとなった.
金属間化合物を形成する合金系であるCu/Geの二層膜について,AES,SEM,TEMにより調べた結果,
1.蒸着のままの組織では,下層はGeの非晶質層と,上層は金属間化合物Cu_3Geの多結晶層からなっていること,
2.アニールにより,相分離型合金系と同様,下層のGeは表面ににじみでて結晶性Geクラスターを形成すること,
などが明らかとなった.
Fe-Si-V合金のD0_3,Fe-Al-Co合金のB2,Ti-Al合金のTi_3Alなど,各種急冷合金中の整合析出粒子の時効に伴う組織変化を透過型電子顕微鏡法により調べた結果,紡錘状粒子の形成(粒子の特定方向への伸長)や粒子の分裂,さらには粒子配列の方向性など,析出組織に対する弾性拘束の効果すなわち弾性エネルギーの効果の重要性を示す挙動が見出された.
TiおよびTi-Al合金中の水素あるいは重水素の挙動を調べ,それら元素の溶解度や拡散係数などのデータを得た.
|
