| 研究概要 |
1.相分離型状態図を構成するAg-Ge,Al-Ge,Ag-Si,Al-Si合金系の二層膜の組織変化について,オージェ電子分光法,走査型電子顕微鏡法,透過型電子顕微鏡法により調べた結果,以下の事柄が明らかとなった.
(1)SiO_2ウエハ-に積層したままの組織は,GeまたはSiの非晶質下層と,AgまたはAlの多結晶上層からなる.
(2)二相域のアニールにより,下層のGeやSiは表面に出て特異な形態を示す結晶性クラスターを形成する.
(3)アニール後期には,上層と下層の入れ替りや各層の組成変化は生じるが,二層構造自体は保たれる.
2.SiO_2ウエハ-に積層したFe-Mo二層膜をアニールすると,状態図からは予期されない準安定(非平衡)金属間化合物であるFeMo相が形成されることが分かった.
3.中間相を形成するCu-Ge合金系の二層膜の組織変化を1項と同様に調べた結果,次の事柄が明らかになった.
(1)SiO_2ウエハ-に積層したままの組織は,Geの非晶質下層と,金属間化合物Cu_3Geの多結晶上層からなる.
(2)アニールにより,Ge下層も多結晶Cu_3Geとなるが,一部のGeは表面に出て結晶性クラスターを作る.
4.相分解過程の数値計算法として離散型拡散方程式に基づく手法を新たに開発し,Fe-Mo合金などの周期構造安定性のコンピュータシミュレーションが可能となった.
5.Fe基合金のD0_3やB2,Ti-Al合金のTi_3Alなど,各種急冷合金中に析出する整合粒子の時効に伴う形態変化を調べた結果,粒子粗大化の停止など,弾性エネルギーの効果の重要性を示す挙動が明らかとなった.また,この組織粗大化の停止とともに硬度低下も停止するなど,材質劣化が抑制されることが分かった.
6.Ti,α-Tiおよび金属間化合物Ti_3Al中の水素と重水素の挙動を調べ,各々の溶解度や拡散係数を測定した.
|
