空気中試料観測用電子顕微鏡の開発

1996 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 07805008
• 研究機関: 大阪工業大学
• 研究代表者: 菅 博 大阪工業大学, 情報科学部, 教授 (80079574)
• 研究分担者: 小寺 正敏 大阪工業大学, 工学部, 教授 (40170279)
• キーワード: 環境顕微鏡 / ESEM / 生体観察 / オリゴ散乱 / 生体試料 / 細胞観察 / Oligo Scattering

研究概要

本年度は,従来の環境顕微鏡(ESEM)に採用されているOligo散乱電子ビームを空気中試料分析装置に利用する際の諸事項について考察した.理論的解析,ディジタルシミュレーションおよび実験によって,電子取り出し窓であるBeやC膜および空気中におけるOligo散乱現象について調べ、設計時に考慮すべき条件を求めた.
まず,Be膜を介してOligo散乱電子ビームを空気中に取り出すための要件すなわち,加速電圧,膜厚,原子量等の関係を理論的に導出した.
つぎに,Oligo散乱解析用のシミュレーションプログラムによって,Be膜やガス層におけるOligo散乱ビームの形成条件を求めた.すなわち,機器のモデルとして,加速エネルギー40keV,Be膜厚0.2μm,および空気層200μmあるいはヘリウム層1.5mmから成る構成を提案した.このモデルでは,試料表面に数nmのスポット径が得られ,画像化可能な量である約14%の電子反射率が期待できることが分かった.
最後に,SEMを利用して膜透過実験を行い,1次ビームが膜透過後観測試料(銅メッシュ)に照射され,反射した電子が再び膜を透過して画像を形成することを確認した.

研究成果

• [文献書誌] T.Kijima,M.kotera,H.Suga,Y.nakase: "Monte Carlo Calculations on the Passage of Electrons through" Thin Films Irradiated by 300ke V Electrons IEICE Transaction of Electronics. E78-C. 557-563 (1995)
• [文献書誌] M.kotera,M.Kato,H.Suga Using: "Observation Technique of Surface Magnetic Structure Type-I Magnetic Contrast in the Scanning Electron Microscope" Digest of Papers Micro Process'95. 62-64 (1995)
• [文献書誌] M.kotera,M.Kato,H.Suga: "Simulation of the Type-I magnetic Contrast in the Scanning Electron Microscope" Proceedings of the 29th Annual Conference of The Microbeam Analysis Society. 379 (1995)
• [文献書誌] H.Kumano,Z.Gang,M.kotera,H.Suga: "空気中試料観測用電子顕微鏡の実現可能性" Memoirs of the Osaka Institute of technology Series. A40.1. 39-47 (1995)
• [文献書誌] Z.Gang,H.Kumano,T.Kijima,M.kotera,H.Suga: "空気中試料観測用電子ビーム分析装置の検討" IEICE Transaction. C-II J78-C-II 12. 589-591 (1995)
• [文献書誌] M.kotera,M.Kato,H.Suga Using Type: "Observation Technique of Surface Magnetic Structure I Magnetic Contrast in the Scanning Electron Microscope" Japanese Journal of Applied Physics 6906. 34,12B. 6903 (1995)