利得結合分布帰還型半導体レーザに基づく光集積回路の共同研究

1997 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 08044123
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 中野 義昭 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (50183885)
• 研究分担者: バーツ ルル ゲント大学, 情報工学研究所, 助教授 ; 羅 毅 清華大学, 電子工程系, 教授 ; スミット マイットK デルフト工科大学, 電気工学科, 教授 ; コルドレン ラリーA カリフォルニア大学, サンタバーバラ校・光エレクトロニクス技術センター, 教授 ; 多田 邦雄 東京大学, 工学系研究科, 教授 (00010710)
• キーワード: 利得結合 / 分布帰還型レーザ / DFBレーザ / レーザトライオード / アナログ変調歪み / 量子細線 / MMIカプラ / モノリシック光集積回路

研究概要

1.GCDFBレーザトライオードの試作:4段階有機金属気相エピタキシ-(MOVPE)によって,波長1.55μm帯のGCDFBレーザトライオードを作製することに,世界で初めて成功した.素子を測定評価した結果,第3端子に電圧を印加することで,吸収性回折格子の吸収係数が変化すること,共振条件が変化すること,結合係数が変化すること,などを実験的に観測・検証した.
2.GCDFBレーザのアナログ変調歪の解析と測定評価:吸収性回折格子型GCDFBレーザのアナログ変調歪を,新たに開発した手法により数値解析した.その結果,二次高調波歪については,活性層の利得圧縮の効果と吸収格子の吸収圧縮の効果が相殺し,歪の小さくなることが明らかになった.これを検証すべく,変調歪の測定評価予備実験を行った.
3.量子細線構造DCDFBレーザの試作:V溝基板上へのMOVPE成長を利用し,InGaAs歪み量子細線を活性層とするGCDFBレーザを世界で初めて試作した.同種の量子細線レーザで問題となる寄生量子井戸からの発光が,DFB効果によって抑圧された結果,量子細線からのDFB発振を得ることに初めて成功した.
4.MOVPE選択成長を利用したMMIカプラの試作・開発:MOVPE面積選択成長を応用して,多モード干渉(MMI)カプラの作製に初めて成功した.1.25μm組成のInGaAsPをコア層とし,その上にInPクラッド層を選択成長により形成した.MMI部の膜厚のばらつきは,伝搬軸に垂直な方向で5%以内,伝搬軸方向で10%以内であり,出力のばらつきは無視できる程度であって,挿入損失はMMI部の長さが30μmの時に2dBであった.

研究成果

• [文献書誌] Nong Chen: "Analysis,fabrication,and characterization of tunable DFB lasers with chirped gratings" IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics. 3・2. 541-546 (1997)
• [文献書誌] Tsurugi, K.Sudoh: "wavelength trimming by external light irradiation-post-fabrication lasing wavelength adjustment for multiple-wavelength distributed-feedback laser arrays" IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics. 3・2. 577-583 (1997)
• [文献書誌] Martin Bouda: "Extremely large in-plane bandgap shifts by MOVPE selective area groth using TBA and TBP" Proc.of Eighth European Conf.on Integrated Optics(ECIO '97). EThH1. 298-301 (1997)
• [文献書誌] Martin Bouda: "Wide-angle coupling to multi-mode interference devices-a novel concept for compacting photonic integrated circuits" IEICE Transactions on Electronics. E-80C・5. 640-645 (1997)
• [文献書誌] Masaki Funabashi: "Comparison of InGaAs absorptive graing structures in 1.55μm InGaAsP/InP strained MQW gain-coupled DFB lasers" Conf.Proc.,Ninth International Conf.on Indium Phosphide and Related Materials(IPRM '97). TuP6. 292-295 (1997)
• [文献書誌] Martin Bouda: "Novel MOVPE selective area growth technique with extremely large bandgap shifts and relaxed fabrication tolerances" Conf.Proc.(Post-deadline Papers),Ninth International Conf.on Indium Phosphide and Related Materials(IPRM '97). PD4. 6-7 (1997)
• [文献書誌] Toru Nakura: "First observation of changing coupling coefficients in a gain-coupled DFB laser with absorptive grating by automatic parameter exraction from sub-threshold spectra" Tech.Digest,Conf.on Lasers and Electro-Optics(CLEO '97). CThM1. 399-400 (1997)
• [文献書誌] Tsurugi K.Sudoh: "Wavelength trimming by photo-absorption induced disordering for multiple-wavelength distributed-feedback laser arrays" IEEE Photonics Technology Letters. 9・7. 887-891 (1997)
• [文献書誌] Hidekazu Kawanishi: "Gain-coupled distributed-feedback laser triode-novel structure for tuning coupling coefficient" Tech.Digest,the Pacific Rim.Conf.on Lasers and Electro-Optics(CLEO PackRim '97). ThI1. 141 (1997)
• [文献書誌] Yoshiaki Nakano: "Characterization of excess noise induced by external reflection in 1.55μm gain-coupled DFB lasers of absorptive grating type" Tech.Digest,11th International Conf.on IOOC '97/23rd ECOC '97. MO2B. 25-28 (1997)
• [文献書誌] 中野 義昭: "(招待講演)モノリシック光集積回路の課題と展望" 電子情報通信学会フォトニックスイッチング研究会資料. PS97-9. 7-8 (1997)
• [文献書誌] Yoshiaki Nakano: "(Invited Paper)Semiconductor photonic devices and related MOVPE technologies" Tech.Digest,International Topical Meeting on Photoelectronics. 9 (1997)
• [文献書誌] YiLuo: "1.5μm InGaAsP/InP strained MQW gain-coupled DFB laser with an improved periodically modulated injection-carrier grating" Tech.Digest,International Topical Meeting on Photoelectronics. 32-34 (1997)
• [文献書誌] Byongjun Ma: "All-optical wavelength converter based on coupled semiconductor optical amplifier" to be published in Tech.Digest,Topical Meeting on Integrated Photonics Research (IPR '98). IMH-21. (1998)
• [文献書誌] Byongjun Ma: "Proposal of a novel all-optical wavelength converter using coupled semiconductor optical amplifier" to be published in Tech.Digest,Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO '98). CThZ5. (1998)
• [文献書誌] Tomoaki Toda: "Fabricationof InGaAs DFB quantum wire lasers by using v-grooved substrates" IPRM '98,Tsukuba,. (採録決定済). (1998)
• [文献書誌] Martin Bouda: "First multi-mode interference devices fabricated by metal-organic vapor phase diffusion enhanced selective area epitaxy" IPRM '98,Tsukuba,. (採録決定済). (1998)