| 研究分担者 |
田中 真美 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手 (80271873)
裘 進浩 東北大学, 流体科学研究所, 講師 (60241585)
高木 敏行 東北大学, 流体科学研究所, 教授 (20197065)
谷 順二 東北大学, 流体科学研究所, 教授 (30006192)
江 鐘偉 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (60225357)
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| 研究概要 |
自己診断機能を備えるインテリジェント構造システムに導入するための,圧電センサ・アクチュエータを用いた簡単かつ実用的な構造物のヘルスモニタリング技術を開発した。具体的には,高感度,使い勝手の良い圧電素子をセンサならびにアクチュエータとして用い,構造物に素子を埋め込み高周波で駆動させながら,そのインピーダンスの変化および入力パルス波の伝播,反射,発散を計測し,健康時の構造物のインピーダンスや波の伝播状態と比較することで損傷の状態を定量的に評価する手法を確立した。日中双方の協力に得られた成果の一部を8月に中国側分担者 聞 邦春教授が企画した振動工学国際会議にて公表し,また圧電センサとアクチュエータの最適配置問題や亀裂の程度ならびに場所の同定法に関して中国東北大学博士研究論文としてもまとめられている。さらに,最近に得られた最新成果を平成11年3月米国で開かれるSPIE's 6th Annual International Symposium on Smart Structures and Materials国際会議にて公表する予定である。
また本研究一部として,300mmシリコンインゴットを切断するスライシングマシンの切断状態を定量的に監視評価するため,シリコンインゴットを切断する際に発生する振動・音響信号を3軸圧電センサより測定し周波数解析などより得られた各周波数レベルの情報からブレードの切り味や切断状態,ウエハ品質状況を計測,解析,表示するソフトウェアを開発し,リアルタイムでブレード切断状況を計測診断するシステムを構築した。
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