| 研究課題/領域番号 |
08405026
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 豊田工業大学 |
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研究代表者 |
鈴木 孝雄 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70005495)
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| 研究分担者 |
CHEN Yunjie 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, 研究員 (40301642)
PHILIPS Gavi 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, 研究員 (60288561)
ACHARYA Ramamurthy 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, 研究員 (50288560)
ABRRA Noel 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, 研究員 (30281489)
VAN Drent Wi 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, 研究員
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| 研究期間 (年度) |
1996 – 1998
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| キーワード | 高密度光記録 / 多元レーザー蒸着法 / フェライト薄膜 / TbFeCo薄膜 |
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| 研究概要 |
本研究は高密度記録材料(光-磁気記録、磁気記録を主とする。以下媒体と略す。)創製のため、多元レーザー蒸着法を用いることにより磁性薄膜を作製し、磁気特性及び光-磁気特性と作製条件との相関を明らかにし、かつ作製条件,組成、膜厚等を制御することにより、高密度記録再生特性の最適化を試みることを目的としている。このため多元レーザー蒸着装置を試作し、新奇な媒体を研究・開発することをねらいとしている。
多元レーザー蒸着装置
本装置は独創的な特徴をもった試作装置である。即ちNd:YAGレーザー(出力1.1W)を回転しているターゲット上に照射することにより作製試料の組成を連続的かつ任意に変化させることができ、又下地基板も蒸着中公転かつ自転できる機構を有している。試料作製雰囲気は眞空中(眞空度1×10^<-6>Torr以上)あるいは2種類のガス雰囲気中を選択できるようになっている。この装置を利用して将来の高密度垂直磁気記録材料として有望なSrフェライト及びCO-Agグラニュラー磁性薄膜の作製を行い、その磁気特性、構造及び光‐磁気特性を系統的に調べた。特に垂直磁気記録材料として不可欠な「垂直磁気異方性」について作製条件の最適化を行った。その結果、
1. SrFe_<12>O_<19>磁性薄膜は熱処理(650〜800℃、2時間)することにより大きな垂直磁気異方性(10^6crg/cc)を示し、垂直磁気記録材料として有望であることがわかった。
2. Co_xAg_<100-x>(x:20〜50)グラニュラー膜は熱処理温度600〜650℃付近において最大の垂直磁気異方性(10^<5〜6>erg/cc)を示すことがわかった
3. 本レーザー蒸着法はスパッター法に比較し、組成の変化を連続的に行うことができる為磁気特性の制御が可能となり記録再生特性の最適化に適した作製方法であることが実験的に確認できた。
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