研究課題/領域番号 |
08405046
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研究種目 |
基盤研究(A)
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研究機関 | 東北大学 |
研究代表者 |
渡邊 忠雄 東北大学, 工学部, 教授 (40005327)
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研究分担者 |
趙 驤 東北大学, 工学部, 助手 (60271871)
藤野 豊 東北大学, 留学生センター, 教授 (60005402)
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キーワード | 粒界設計・制御 / 界面アーキテクチャー / 微細核多結晶性材料 / 粒界性格・構造 / 粒界性格分布 / SEM-ECP-EBSP法 / ナノ結晶材料 / 高性能発現 |
研究概要 |
平成8年度において、多結晶材料の粒界性格分布の調査に用いられてきたSEM-ECP法に代わって新しく導入された、FE-SEM-EBSPオンライン自動結晶方位解析装置の性能を検証しながら、次年度から本格的に、『微細粒多結晶材料の粒界設計・制御による界面アーキテクチャー』に取り組むための準備がなされた。フィールドエミッションタイプのSEMにEBSPを組み込んだことにより、方位解析可能な結晶粒の大きさはSEM-ECPの場合に比べて1桁小さくなり、0.1μmレベルの微細粒多結晶材料の粒方位および粒界性格の決定が容易に行われうることが確認された。オンライン自動方位解析装置を用いると、平均粒径が50μm程度の場合200個の結晶粒の解析に約6時間かかり、1個の粒の方位解析が1.8分で行われうることが確かめられた。ただし試料の表面に激しい凹凸が有る場合はオンライン自動解析は間違った結果を出す可能性もあり、注意を要することが分かった。 本年度に購入されたアトムビームエッチング装置は、平滑で歪みの少ない試料表面を得るのに有効に用いられる。これまでの薄膜試料を用い透過電顕でしか方位解析ができなかった、1μm以下の微細粒多結晶体にもFE-SEM-EBSP法が集合組織解析、粒界性格分布の調査に有効に用いうると期待される。現在、急冷凝固によって作製された微細粒組織の多結晶材料の粒界性格分布の解析が予定されている。
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