-
[文献書誌] S.Sugiyama,Y.Zhang,H.Ueno,M.Hosaka,T.Fujimoto,R.Maeda,T.Tanaka: "A compact SR Beamline for Fabrication of High Aspect Ratio MEMS Microparts" Proceedings of the 7th International Symposium on Micro Machine and Human Science,IEEE. 79-84 (1996)
-
[文献書誌] 保坂誠,張延平,上野洋,井上泰伸,杉山進: "小型SR光ビームラインを用いた高アスペクト比マイクロマシン製作の検討" 電気学会マイクロマシン研究会資料. MM-97-6. 31-35 (1997)
-
[文献書誌] 保坂誠,張延平,井上泰伸,杉山進: "MEMS用高アスペクト比X線リソグラフィーの研究" 1997年春季第44回応用物理学関係連合講演会予稿集. (1997)