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[文献書誌] S.Sugiyama, Y.Zahng, M.Hosaka, H.Ueno, O.Tabata, S.Konishi and R.Maeda: "Study on fabrication of high aspect ratio MEMS microparts using a compact SR beamline" Microsystem Technologies. 4・2. 61-63 (1998)
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[文献書誌] H.Ueno, M.Hosaka, O.Tabata, S.Konishi and S.Sugiyama: "X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process" Technical Digest of the 16th Sensor Symposium. 189-194 (1998)
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[文献書誌] R.Kondo, M.Hosaka, K.Suzuki and S.Sugiyama: "Study on Fabrication of High Aspect Ratio Electrostatic Micro Actuators Using LIGA Process" Technical Digest of 16th Sensor Symposium. 195-198 (1998)
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[文献書誌] 近藤亮史, 保坂誠, 鈴木健一郎, 杉山進: "LIGAプロセスによる静電マイクロアクチュエーター製作の検討" 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'98講演論文集. IAIV1-7 (1998)
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[文献書誌] R.Kondo, K.Suzuki and S.Sugiyama: "Study on Fabrication of High Aspect Ratio Electrostatic Micro Actuators Using LIGA Process" Proceedings of the International Symposium on Micromechatronics and Human Science. 155-160 (1998)
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[文献書誌] 杉山進: "放射光によるマイクロマシニング技術" 第8回放射線利用総合シンポジウム資料集. 24-34 (1998)