| 研究課題/領域番号 |
08505004
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 応募区分 | 試験 |
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
隅山 兼治 東北大学, 金属材料研究所, 助教授 (70101243)
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| 研究分担者 |
田上 勝通 NEC機能エレクトロニクス研究所, 記憶研究部, 研究部長
櫻井 雅樹 東北大学, 金属材料研究所, 助手 (80235225)
今野 豊彦 東北大学, 金属材料研究所, 助手 (90260447)
神山 智明 東北大学, 金属材料研究所, 助手 (90005926)
鈴木 謙爾 東北大学, 金属材料研究所, 教授 (10005861)
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| キーワード | ナノクラスター / 磁性材料 / グラニュラー薄膜 / レーザー蒸発 / 飛行時間型質量分析 |
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| 研究概要 |
本研究計画においては、レーザー蒸発クラスター発生源ならびにクラスターサイズ選別装置を備えたクラスター堆積装置を設計・作製し、ナノスケールサイズのクラスターを素機能単位とした新しい物質合成の基礎確立をめざしている。本年度はレーザー蒸発クラスター発生源、試料堆積室ならびにレーザーイオン化飛行時間型質量分析計を組み合わせたナノクラスター堆積装置を設計・作製した。また、クラスターサイズ制御の第1段階として、発生したクラスターの飛行中の質量分析とそのクラスターの堆積を試みた。飛行時間型質量分析計は希ガス(He, Ar, Kr, Xe)による校正を行い、分解能さらに検出能を評価した。金属を蒸発させるためのレーザーの強度と冷却用のHeガスの流量、そしてこれらのパルスの時間的同期を調製することにより、クラスターサイズとその分布を制御することができ、グラニュラー物質の物性制御が可能であることが確かめられた。
現在クラスター堆積薄膜についてX線回折、電子顕微鏡によるクラスターの構造とサイズとの関係、X線小角散乱によるクラスターサイズ分布評価ならびにSQUIDによる磁気特性の評価を行うため、大量にクラスター堆積ができる最適条件を探索している。また、本装置を用いて作製されたFe-AgならびにFe-Cuグラニュラー薄膜と、これまでのクラスターイオンビーム法やプラズマ堆積法によって作製したグラニュラー薄膜との物性の違いを比較検討することを計画している。
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