| 研究課題/領域番号 |
08555003
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
前田 康二 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (10107443)
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| 研究分担者 |
長村 俊彦 (株)ユニソク, 科学機器開発研究所, 所長
目良 裕 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助手 (40219960)
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| キーワード | DLTS / 顕微鏡 / 非接触 / 表面光起電力 / 深い準位 / STM / 過渡応答 / ナノ |
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| 研究概要 |
(1) ナノ分解能DLTS顕微鏡の試作と試験運転
2段バネによる除振機構と慣性駆動方式による探針粗動機構を取り付けた超高真空STMに、さらに下記特殊仕様の試作ステージを取り付けたシステムを試作した。試作機の試運転を行い、ベーキングに伴い起こる探針粗動機構の不具合を部品の改良によって解決した。また、ベーキング効率向上のため排気系の改良を実施した。
(2) 試作ステージの性能評価
温度変化に伴う探針ー試料面の相対的変位を最小限に抑えたナノ分解能DLTS顕微鏡用試作STMステージの性能をHOPG試料を用いて評価した結果、熱ドリフト(一定温度における変位速度)は4.2nm/hr以下、熱シフト(ステージ温度変化にともなう変位)は21nm/K以下と、従来の装置に比べ前者は約1/200、後者は2桁以上小さいことを確認した。
(3) 高速電流プリアンプの試作
測定を高速化することにより測定時間の短縮と熱ドリフトによる変位を最小限にするために、昨年度試作した広帯域電流プリアンプをさらに改良し、利得108V/A、帯域ha100kHzから1MHzへ拡大することに成功した。以上により、STM-DLTS顕微鏡としての基本的性能は常時得らる段階に達した。
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