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1996 年度 実績報告書

フィールド・エミッション(FE)X線管の試作

研究課題

研究課題/領域番号 08555017
研究種目

基盤研究(A)

応募区分試験
研究機関名古屋工業大学

研究代表者

奥山 文雄  名古屋工業大学, 工学部, 教授 (30024235)

研究分担者 若元 郁夫  三菱重工(株), 技術本部, 主務
杉江 紘  名古屋工業大学, 工学部, 助手 (40024327)
種村 眞幸  名古屋工業大学, 工学部, 助教授 (30236715)
北 重公  名古屋工業大学, 工学部, 助教授 (60006153)
キーワードX線カメラ / フィールド・エミッション / スパッタリング
研究概要

X線“影"を映し出すことによって、検体の非破壊検査を行う“X線カメラ"(XRC)は、従来、一次放射線(電子)源に、大容積の加熱電源を必要とする熱電子源を用いるため、概して大型である上に、移動のできない“固定型"が大半を占める。近年、“ハイテク"産物の検査を目的とするコンパクトXRCへの関心が高まりつつあり、これに答え得る技術の開発が産・学に求められている。本研究は、このような社会的要請を考慮し、三菱重工(株)との共同研究として企画されたものである。具体的には、加熱電源を必要としないフィールド・エミッション(FE)源を一次放射線とする、コンパクトかつポ-タブルなXRCの開発を目的とし、平成8年度には、1)装置(FE Xray発生装置)の設計・製作及び、2)全体システムの組み立て・調整が計画されたが、これらは、平成9年1月をもって終了した。装置の主な仕用は以下の通りである。
1)電子ビーム加速電圧 80kV
2)電子ビーム加速モード 後段加速
3)電子ビーム収束方式 グレーザー方式
4)到達真空度 10^<-8>Pd
5)ターゲット アルミニウム

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公開日: 1999-03-08   更新日: 2016-04-21  

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