| 研究課題/領域番号 |
08555017
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| 研究機関 | 名古屋工業大学 |
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研究代表者 |
奥山 文雄 名古屋工業大学, 工学研究科, 教授 (30024235)
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| 研究分担者 |
杉江 絋 名古屋工業大学, 工学部, 助手 (40024327)
種村 眞幸 名古屋工業大学, 工学部, 助教授 (30236715)
北 重公 名古屋工業大学, 工学部, 助教授 (60006153)
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| キーワード | X線カメラ / フィールド・エミッション / スパッタリング |
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| 研究概要 |
X線“影"を映し出すことによって、検体の非破壊検査を行う“X線カメラ"(XRC)診断は、現代社会を支える基板技術である。本研究は、XRCのコンパクト化に不可欠な、冷電子エミッターを電子源とするフィールド・エミッション(FEX X線管の試作を目的として、企画されたものである。
平成9年度に計画された研究は、1)FEX線管(平成8年度に試作)の線料特性評価、及び 2)遮へい効果の点検である。
具体的には、10〜70kVの電子加速電圧に対して発生X線量を測定し、X線量が実用領域に達するか否かを確認すること、ならびに、検出系へのX線侵入経路に各種厚みのAl板を置き、Al板の厚みとX線強度の関係を点検することである。結果の概要は以下の通りである。
a)Ni-MFCからの発生X線量が電子加速電圧の増加と共に直線的に上昇し、70kVで実用水準を上回る0.9mSvに達する。b)全ての加速電圧に対して、検出X線量(I)とAl板厚み(t)がlog I=μt+I.(Io:t=0でのX線量)の関係を満たすことが確認された。
以上は、ほぼ初期の目的に沿うものであるが、実験の初期過程で、高圧電源用碍子の耐圧が、不充分であり、その取り換えにかなりの日時を要したこと、高圧電源(≦80kV)が、安定性を欠き、修理の止むなきに至ったこと等の不都合が生じた。装置設計の不備によるものであり、反省材料としたい。
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