| 研究課題/領域番号 |
08555104
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 応募区分 | 試験 |
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| 研究機関 | 金沢工業大学 |
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研究代表者 |
得永 嘉昭 金沢工業大学, 工学部, 教授 (00072174)
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| 研究分担者 |
南出 章幸 金沢工業高等専門学校, 電気工学科, 講師 (20259849)
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| キーワード | 携帯型 / 光音響顕微鏡システム / 圧電薄膜センサー / ダイレクトオンセンシング法 / 光音響信号 / Surface Plasmon Microscopy / 蒸着膜 |
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| 研究概要 |
1.これまで開発してきた研究室対応の光音響顕微鏡システムを現場対応の機動性にするために光源の軽量化と省エネルギー化を行った。具体的には気体レーザから小型軽量な半導体レーザへの改良を検討した。このようにすることで、気体レーザでは必要不可欠であった光変調器が不必要となり、経費とコンパクト化の両面で改良できた。
2.密閉型マイクロホンの代わりに状況に応じて柔軟に対応できる圧電薄膜センサーを検討し、“ダイレクトオン法"とでも呼ぶべきセンシング法を開発した。この方法を使うことで、特別なセルが要らなくなり、装置の機動性を高めることができた。
3.以上の改良を行った装置で黒鉛の光音響信号の振幅の周波数依存性を測定し、理論とよく一致したデータを得た。携帯型光音響顕微鏡システムの実現のための一つのハードルをクリアできた。
4.圧電薄膜の周波数特性に重要な位置を占める金属電極膜厚をリアルタイムで正確に評価できるSurface Plasmon Microscopyを提案し、その基礎技術を確立した。この方法を使うことで蒸着装置内に置かれた圧電膜への金属薄膜の膜厚を非接触で簡単に計測できることになり、センサーの開発にめどをつけることができた。
5.携帯型顕微鏡システムをデスクトップからノート型パソコンへと改良し、そのソフト確立のための基礎データを収集した。
最終年度は以上の研究成果を基礎として、システム全体の確認とそれを使って材料評価のデータベースを作りたいと考えている。
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