| 研究課題/領域番号 |
08555176
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 展開研究 |
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| 研究分野 |
金属生産工学
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| 研究機関 | 長岡技術科学大学 |
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研究代表者 |
斎藤 秀俊 長岡技術科学大学, 工学部, 助教授 (80250984)
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| 研究分担者 |
大塚 智雄 アルプス電気(株), 電子部品事業本部, 研究員
飯塚 雅博 アルプス電気(株), 電子部品事業本部, 主任技師
大塩 茂夫 長岡技術科学大学, 工学部, 教務職員 (90160473)
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| 研究期間 (年度) |
1996 – 1997
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| キーワード | アモルファス膜 / 窒加炭素 / 硬質膜 / 磁気記録ヘッド / パ-マロイ / ECRプラズマCVD / オージェ電子分光法 / 付着 |
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| 研究概要 |
パ-マロイ磁気ヘッドの耐磨耗性表面コーティング膜としてアモルファス窒化炭素膜に注目した。膜とヘッドの密着性を決定する要因が膜の成長初期過程にあると推測し、成長初期における付着性を調査するとともに、磁気テープの走行試験を行なった。電子サイクロトロン共鳴プラズマ化学析出法で15分間作製された膜の顕微鏡観察によると、研磨処理を予め行なわない基板の上に作製した膜の剥離は見られなかったのに対し、研磨処理基板上では剥離が生じた。基板を研磨することにより、パ-マロイ表面のα相が除去されβ相が表われる。基板温度200℃におけるα相中の窒素および炭素拡散速度はβ相の105倍である。したがって上で得た結果はα相に炭素が拡散し基板と膜の界面に傾斜組成城ができたため研磨前の付着力が強固になったと説明できる。実際のパ-マロイ磁気ヘッドに100nm程度のアモルファス窒化炭素膜を皮膜しオ-ディオテープの走行試験を行なった。その結果、膜は1時間以内に削りとられることがわかった。さらに現在最も高速走行を必要とするデジタルビデオテープ用フェライトヘッドに窒化炭素膜を堆積し、10m/sの磁気テープ走行試験を行い、窒化炭素膜の耐磨耗性を評価した。全てのサンプルで走行開始後3-5分程度でヘッド表面に剥離によるキズができ始めた。これらは走行時間とともに進展し、大きな剥離を形成するようになる。以上の結果より、今回の走行試験の結果から窒化炭素膜はまだ実用に供することはできないことがわかった。窒化炭素膜の真のコーティング効果を確認するためには、温度管理および適切なイオン加速電圧の印加状態でサンプルを作製する工夫が今後必要になる。なお、結果の詳細についてはホームページhttp://hts.chem.nagaokaut.ac.jpで公開している。
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