| 研究課題/領域番号 |
08650414
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 研究機関 | 神奈川工科大学 |
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研究代表者 |
宝川 幸司 神奈川工科大学, 工学部, 教授 (30257406)
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| 研究分担者 |
野毛 悟 神奈川工科大学, 工学部, 助手 (10221483)
黄 啓新 神奈川工科大学, 工学部, 助手 (30257414)
宇野 武彦 神奈川工科大学, 工学部, 教授 (50257408)
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| キーワード | 弾性表面波 / 水晶 / 双晶水晶 / 弾性表面波半導体複合素子 / エピタキシャルリフトオフ / GaAs半導体 / マチドフィルタ / Y-ZLiNbO_3 |
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| 研究概要 |
表記課題に対し以下の実績を得た。
1.半導体素子製作技術;フィルム状の素子として加工しても特性劣化のないFET、およびMSMホトダイオードとして利用できるショットキダイオード等の機能素子の要素技術となる半導体フィルム素子の製作技術を立ち上げた。
2.新原理素子;高温での水晶の相転移現象を利用した新原理素子を提案し、実験的にその有効性を確認した。
3.エピタキシャルリフトオフ(ELO)による複合素子製作技術;半導体素子と弾性表面波素子の正確なアライメント、塵やなど歩留の低下を招く要因を低減したウエハハンドリング手法などのプロセス技術を確立した。
4.複合機能素子;弾性表面波とFETを搭載した半導体フィルムをELOにより集積化した新規な特性可変フィルタを提案し、設計・試作に成功した。更に、この技術を援用して超伝導素子と半導体素子を組み合わせた新素子の試作にも成功している。
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