均一ドープ超短チャネル電界効果トランジスタの研究

1996 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 08750394
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 藤島 実 東京大学, 大規模集積システム設計教育研究センター, 講師 (60251352)
• キーワード: 極短チャネルMOSFET / ダブルショットキー構造 / Tiシリサイド

研究概要

ショートチャネル効果と寄生抵抗の増大という2つの問題を解決するため、新提案のダブルショットキーMOSFETを試作した。ソース、ドレインはSi基板にTiをスパッタし550℃でアニールしてTiシリサイドを形成した。このショットキーダイオードの特性を測定した結果、良好なTiSi_2膜が形成されていることが確認できた。また、ドライ酸化によりTiSi_2上にSiO_2膜が形成されることも確認できた。作製したFETはまだOFF時のリ-ク電流が大きくゲート電圧による変調も小さいが、以上の結果からダブルショットキーMOSFETの基本的な作製プロセスは確立できたと言える。

研究成果

• [文献書誌] 藤島実 他: "MOSFETの微細化限界についての一考察" 第44回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集. 97春(発表予定). (1997)
• [文献書誌] 藤島実 他: "Semiconductor Single-Electron Transistor as a Successor of Scaling MOSFETs" IEICE TRANSACTIONS on Electronics. E80-C,7(発表予定). (1997)
• [文献書誌] 福井大伸 他: "Single-Electron Transistor in SOI Structure with Schottky-Contact Tunnel Barriers" The 190th Meeting Abstructs,The Electrochemical Society,Inc. 96-2. 578-578 (1996)
• [文献書誌] 福井大伸 他: "Single-Electron Transistor with Schottky Source/Drain" 1996 Int.Symp.on Formation,Physics and Device Application of Quantum Dot Structures : Final Program & Collected Abstracts. 146-146 (1996)
• [文献書誌] 天川修平 他: "Characterization of Capacitively-Coupled Dual Tunnel Junction Array" 1996 Int.Symp.on Fromation,Physics and Device Application of Quantum Dot Structures : Final Program & Collected Abstracts. 154-154 (1996)
• [文献書誌] 天川修平 他: "容量結合された2つの微少トンネル接合列の量子カレントミラーへの応用" 第57回応用物理学会学術講演会 講演予稿集. 96秋. 67-67 (1996)