| 研究概要 |
本研究は身体装着遠隔介護システムの為のワイヤレス集積超小型多軸MEMS加速度センサの開発に関する研究である。今回の研究の第一段階として、私たちは一つのチップサイズにマイクロスケールのMEMS加速度センサーを開発することを目標としていました。この目標を達成することができ、700μm×700μmと500μm×500μmのダイサイズを有する5つのタイプの加速度センサーの開発を行いましか。そして、これらの業績に加え,1mm×1mmのサイズに集積したワイヤレス加速度センサーを開発することができました。さらに、市場向けのワイヤレス集積加速度センサーを搭載したテレケアシステムのプロトタイプを開発することができました。
2008年4月から2009年3月までに取り組んだ研究内容を以下に示す。
(a)数学的定式化及びコンピューターによるシミュレーションを行いました。得られた顕著なシミュレーション結果を通して、私たちは加速度センサーの理論上の出力性能の予測が可能になりました。
(b)フォトマスクを製作するための準備としてマスク設計を行いました。
(c)製作プロセスを行い、ピエゾ抵抗素子を有する超小型多軸MEMS加速度センサーを開発しました。
(d)加速度センサーの製作後、性能の解析および加速度の較正について引き続き実験を行っています。基本的な結果については得ることができました。
e)市販のワイヤレス集積加速度センサを用いた身体装着遠隔システムのプロトタイプを開発した。このシステムは立ち、歩き又は倒れ等の体の姿勢・活動をワイヤレスでリアルタイム監督することが出来る。Labview 8.6やMATLABなどのソフトウェアを利用することによってデータ獲得と制御インターフェイスを行った。研究成果について報告しました。
|
