| 研究分担者 |
GANSCHOW Ste ドイツ, 結晶成長研究所, 研究員
EPELBAUM Bor ドイツ, 結晶成長研究所, 研究員
SCHRODER Win ドイツ, 結晶成長研究所, 所長
MULLER Georg ドイツ, ErlangenーNurmberg大学, 教授
島村 清史 東北大学, 金属材料研究所, 助手 (90271965)
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| 研究概要 |
現在の科学技術の発展に伴い,単結晶材料は光・電子デバイスの基盤材料として更なる高品質化・高性能化が求められている.これには抜本的な技術革新が急務であり,それを達成するためには結晶成長中の諸現象,特に熱・物質移動現象を中心とした複雑な融液物性の解明が必要である.本研究は,これらの状況を鑑み,日独相互協力体制の基で,バルク単結晶作製時における熱・物質移動現象の解明を行い,その精密制御手法の確立を探求した.
本研究期間内に,東北大学金属材料研究所からのべ6名(2名は分担者外)ドイツ結晶成長研究所に派遣し,ドイツ結晶成長研究所からは東北大学金属材料研究所へのべ7名(1名は分担者外)招聘し,
・磁場印加CZ法,LEC法,FZ法による半導体結晶作製中の熱・物質移動現象
・フッ化物及び酸化物結晶作製時における不純物分布の解析
等を中心に調査研究を行った.
この中で特にフッ化物結晶結晶作製時に問題となる炉内温度勾配,或いは精密な温度制御,純度制御,雰囲気制御などを解決し,従来結晶成長が困難とされたCe:LiCaAlF_6,Ce:LiSrAlF_6,Ce:YLiF_4,Ce:LuLiF_4,Ce:BaLiF_3などの高品質単結晶成長に成功し,過去報告値を数段上回る紫外レーザー出力60mJの発生に成功した.
これら相互の研究状況の調査・討論等を進めていく中で,日独共同研究体制がより強化し,その結果,平成10年度において「日独結晶成長会議」が開催された.この会議が話題を呼び,平成11年度初頭に,「日独波蘭結晶成長会議」が開催される予定となった.
尚,本調査研究実績には含まれていないが,当該研究分担者であるドイツ結晶成長研究所・教授Peter Rudolph,研究員Boris Epelbaum博士が,それぞれ約三ヶ月,東北大学の客員教授・助教授として招聘された.この招聘により,先述の会議の打ち合わせ,並びに当該研究課題に関する調査・討論等が滞りなく,進められた.
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