| 研究概要 |
3Y-TZPおよび3Y-20を共試材とし,大気中,温度範囲1573-1773K,初期ひずみ温度範囲10^<-4>-10^<-2>で超塑性変形した。イオンプレーティングによるコーティングは,バレル中においてガス圧1X10^<-5>Torr,温度250-260℃で行った。膜圧は約1μmであった。破壊じん性はIF法で測定した。
3Y-TZPについて,かたさのキャビティ体積率依存性を調べた結果,硬さは超塑性変形したままの試験片の硬さより20%大きくなっていることがわっかった。また,破壊じん性のキャビティ依存性を調べるため,破壊じん性値を各試験片のつかみ部の破壊じん性値で除すと,破壊じん性値は約20%上昇することがわかった。
以上のように,イオンプレーティングによるTiNのコーティングは超塑性変形したセラミックスの機械的性質の回復や改善に大変有効であることがわかった。
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