| 研究課題/領域番号 |
09305023
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
小柳 光正 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (60205531)
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| 研究分担者 |
柳 基鎬 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手 (20270811)
栗野 浩之 東北大学, 大学院・工学研究科, 講師 (70282093)
羽根 一博 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893)
江刺 正喜 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (20108468)
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| キーワード | 視覚情報処理 / リアルタイム / 学習機能 / 連想機能 / ニューラルネットワーク / 並列処理 / 3次元積層技術 / 張り合わせ技術 |
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| 研究概要 |
学習機能を有する積層型マイクロ視覚情報処理システムを構築することを目的として基本技術の検討を行い、以下のような成果を得た。
1.積層型マイクロ視覚情報処理システムのシステム概略設計を行い、性能予測を行った。その結果、性能が2桁以上改善される見通しを得た。
2.ニューラルネットワークの基本回路設計・評価を行い、連想動作が可能であることをシミュレーションにより明らかにした。
3.積層型マイクロ視覚情報処理システムの試作に必要な積層化技術について、多層実装アライナーを用いてシリコンウェーハを±1μmの精度で位置合わせを行った後、積層化する技術を確立した。
4.マイクロマシンの立体加工技術を利用して、プラズマ微細加工装置により多層構造をもつ積層型マイクロ視覚情報処理チップの層間埋め込み配線を形成するための深溝(2μm径、深さ20〜30μm)を形成する技術と、上下の埋め込み配線どうしを接続するためのメタル・マイクロバンプ技術を確立した。
5.積層型マイクロ視覚情報処理システムのための専用マイクロプロセッサを設計し、テストチップを試作して良好な動作を確認した。
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