| 研究概要 |
本研究は,マイクロマシン技術を駆使した地下マイクロセンサーの開発と,それを用いた地下計測法の研究により地下マイクロセンシングの基礎を築くことを目的としている。
今年度の研究実績は下記の通りである。
1.弾性波センサーの開発:広帯域・高感度静電容量型加速度センサーおよび光干渉型振動センサーについて,(a)設計,(b)シリコンプロセス,(c)センサーの製作と方式上・製作上の問題点の抽出,(d)室内性能試験,を行なった。また,静電容量型加速度センサーについては,サーボコントロール回路の設計・製作を行なった。光干渉振動センサーについては,光干渉計測システムの設計・製作を行なった。これらにより,弾性波センサーのプロトタイプを製作しその特性を評価できた。
2.マイクロゾンデの開発:マイクロゾンデについて,(a)概念設計,(b)有限要素法による強度計算,(c)シリコン・ガラス陽極接合部の強度試験,を行なった。これらの結果から,マイクロゾンデの製作法について具体的に検討を行なった。
3.地下マイクロセンシングに関する検討:学会・研究会および実フィールドにおいて,地下マイクロセンシングに対する社会的ニーズ,産業界のニーズ,ならびに関連技術につについて調査・検討を行なった。
以上のことより,本年度は概ね当初計画通りに研究を遂行でき,順調に研究が進展していると考える。
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