| 研究概要 |
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本研究は,マイクロマシン技術を駆使した地下マイクロセンサーの開発と,それを用いた地下計測法の研究により地下マイクロセンシングの基礎を築くことを目的としている。
今年度の研究実績は下記の通りである。
1. (a)弾性波センサーの開発:広帯域・高感度静電容量型加速度センサーおよび光干渉型振動センサーについて,、前年度に引き続き,(a)センサーの試作と方式上・製作上の問題点の抽出,(b)室内およびミニフィールドでの性能評価,(c)再製作,を行なった。静電容量型加速度センサーについては,センサーを製作し性能評価を行なうとともに,3軸化のための検討および設計・製作を行なった。さらに電子回路部分についても検討を行なった。光干渉型振動センサーについては,センサーの試作・性能評価を行なった。また,ファイバーグレーティングを用いたアレイ計測を検討するとともに,実際にファイバーグレーティングを製作しその特性を評価した。さらに,ハイドロフォンについてもセンサーの設計・試作を開始した。
2.(b)マイクロゾンデの開発:圧カセンサと一体型のゾンデについて,(a)ゾンデの試作と方式上・製作上の問題点の抽出,(b)室内性能試験,を行なった。これにより圧カセンサと一体型のゾンデを実現可能であることを確認した。
3. 地下マイクロセンシングに関する検討:学会・研究会および実フィールドにおいて,地下マイクロセンシングに対する社会的ニーズ,産業界のニーズ,ならびに関連技術につについて調査・検討を行なった。
以上のことより,本年度は概ね当初計画通りに研究を遂行でき,順調に研究が進展していると考える。
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