| 研究課題/領域番号 |
09450041
|
|---|
| 研究機関 | 金沢工業大学 |
|---|
研究代表者 |
南戸 秀仁 金沢工業大学, 工学部, 教授 (30133466)
|
|---|
| 研究分担者 |
草野 英二 金沢工業大学, 工学部, 助教授 (00278095)
金原 粲 金沢工業大学, 工学部, 教授 (90010719)
|
|---|
| キーワード | スパッタリング / 薄膜 / 酸化物半導体 / 感性化学センサ / ガスセンサ / インテリジェント センサ |
|---|
| 研究概要 |
研究初年度の本年は、作製したモジュレーション・リアクティブ・スパッタ装置を用いて、化学センサ用材料となる酸化物あるいは窒化物半導体の多層構造膜、組成変調膜の作製技術の確立ならびに化学センサ用薄膜材料の機能設計を目的に研究を進め、以下の成果を得た。
(1)現有のスパッタ装置の改良により、酸化物あるいは窒化物半導体の多層構造膜および組成変調膜の作製技術をほぼ確立できた。
(2)化学センサ用薄膜として、膜厚は約100[nm]程度にすることが、素子の感度および安定性の観点から最良であることを明らかにするとともに、ZnO:Al、ZnO-SnO_2などのn型酸化物半導体薄膜およびNiOやCuOなどのP型酸化物半導体薄膜を作製し、化学センサとしての特性を評価するとともに、これらのセンサが、食品や酒類の鮮度評価、あるいは、悪臭におい物質の検知に有用であることを明らかにできた。
以上、ほぼ当初の予定にそって研究を進めることができた。
|
