| 研究課題/領域番号 |
09450041
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| 研究機関 | 金沢工業大学 |
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研究代表者 |
南戸 秀仁 金沢工業大学, 工学部, 教授 (30133466)
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| 研究分担者 |
草野 英二 金沢工業大学, 工学部, 助教授 (00278095)
金原 粲 金沢工業大学, 工学部, 教授 (90010719)
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| キーワード | スパッタリング / 薄膜 / 酸化物半導体 / 感性化学センサ / ガスセンサ / インテリジェントセンサ |
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| 研究概要 |
本年度は昨年度作製したモジュレーション・リアクティブ・スパッタ装置を用いて作製した酸化物半導体薄膜を用いたガスセンサ素子を作製するとともに、有機薄膜を用いた悪臭ガス用センサを作製し、その特性評価を行った。その結果、以下に示す成果を得た。
(1) スパッタ法で作製したTiO2薄膜およびTiO2:Bi薄膜を用いたセンサが、アセトンなどの有機溶媒からの「におい」に高感度かつ優れた選択性を示すことを明らかにできた。
(2) SnO2:Sb,Au薄膜を用いたセンサ素子が、アセトンやジエチルエーテルに高感度であることおよびVOx薄膜を用いたセンサが水素ガスのみに高い感度と優れた選択性を示すことを明らかにできた。
(3) 検知したいガスの溶解パラメーターを計算し、その値に近い溶解パラメーター値をもつ有機高分子材料を用い水晶振動子上に薄膜化して作製したセンサが「ねらったガス」に対して高い感度と優れた選択性を示すことを明らかにできた。この結果は、水晶振動子式「におい」センサを機能設計するうえで、有効であることを示す結果である。
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