| 研究課題/領域番号 |
09450041
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
応用物理学一般
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| 研究機関 | 金沢工業大学 |
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研究代表者 |
南戸 秀仁 金沢工業大学, 工学部, 教授 (30133466)
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| 研究分担者 |
草野 英二 金沢工業大学, 工学部, 助教授 (00278095)
金原 粲 金沢工業大学, 工学部, 教授 (90010719)
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| 研究期間 (年度) |
1997 – 1999
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| キーワード | インテリジェントセンサ / スパッタリング / 薄膜 / 感性化学センサ / ガスセンサ / 酸化物半導体 |
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| 研究概要 |
「におい」や「味」などの人間の感性に相当するインテリジェント化学センサの開発を目的に、モジュレーションマグネトロンスパッタリング法、蒸着法、ディップ法、スピンコート法およびプラズマ重合法などを用いて半導体薄膜ならびに高分子薄膜の設計ならびに多機能膜の作成とそれらを感応膜とした「においセンサ」および「味センサ」の作成評価をおこなった。その結果以下のような成果を挙げることができた。
(1)モジュレーションマグネトロンスパッタリング法が感性を検知できる化学センサの分子認識膜の作成に有効であることを明らかにできた。
(2)環境モニタリングに適した水晶振動子式ガスセンサを開発するためのセンサの分子認識膜の機能設計に関する指針をあきらかにした。具体的には、検知したいガスやニオイの溶解パラメータを計算し、その値に近い溶解パラメータ値をもつ高分子材料を分子認識膜材料として使うことで、選択性の優れた化学センサを実現できることをあきらかにした。
(3)表面プラズモン共鳴化学センサを用いた化学センサが、日本酒の製造工程管理用センサとして有効であることを明らかにできた。
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