研究課題/領域番号 |
09450056
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研究機関 | 東京大学 |
研究代表者 |
畑村 洋太郎 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (40010863)
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研究分担者 |
米山 猛 金沢大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30175020)
松本 潔 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助手 (10282675)
中尾 政之 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (90242007)
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キーワード | マイクロマシン / マイクロ工作機械 / デスクトップファクトリ / エア3ータービン / ボイスコイルモータ / 微小径エンドミル / 切削 |
研究概要 |
本研究の目的は、マイクロマシンの工作機械をマイクロ化することである。さらに、マイクロマシンの製造工場の、システムとしてあるべき姿を明らかにすることである。平成9年度は、マイクロ工作機械に用いる機構要素群の開発、およびマイクロ工作機械の統合設計を行った。回転機構としてタービンと動圧軸受を用いたもの(回転数100,000r.p.m.、直径12mm、高さ12mm、耐荷重100N、振動0.1μmp-p)を、並進機構としてボイスコイルモータ、平行平板の弾性軸受、歪みゲージを用いたフィードバック位置制御、などを用いたもの(耐荷重1N、微動分解能0.05μm、繰り返し位置精度0.1μm、フルスケール2mm)、工具として単結晶ダイヤモンドや超硬製の直径100μmの2枚刃のカッタ、などを試作した。さらに上記の機構要素を統合し、マイクロ工作機械として親指の大きさのフライス盤を設計・製作し、それぞれの機構要素に対して、微少力センサを準備して、基本的な耐応力や剛性など一般的な設計データをとった。
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