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1999 年度 研究成果報告書概要

可視発光量子細線・量子箱の作製と誘導放出機構の基礎研究

研究課題

研究課題/領域番号 09450119
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関北海道大学

研究代表者

末宗 幾夫  北海道大学, 電子科学研究所, 教授 (00112178)

研究分担者 植杉 克弘  北海道大学, 電子科学研究所, 助手 (70261352)
研究期間 (年度) 1997 – 1999
キーワード青色発光素子 / 量子ドット / ブルーシフト / ナノリソグラフィ / AFM / 選択成長 / MOMBE / MOVPE
研究概要

量子細線・量子箱を用いると,バンド端状態密度の向上などにより半導体レーザの高性能化が期待され,これらの実現を目指してInGaAs系を中心にその製作方法の研究進展が著しい。しかしそのほとんどは波長〜1μmの赤外発光領域に偏っている。一方高密度光情報処理への応用や、光電子融合集積回路においてシリコン受光素子の吸収係数を増大するには、可視、特に短波長領域半導体レーザの高性能化、高効率化、低消費電力化が必要である。特に量子井戸箱に閉じこめられた励起子や励起子分子では大きな振動子強度(大きな光学利得)が理論的に予見されており、元来励起子の束縛エネルギーが大きいワイドギャップ半導体を用いてこれを実現すれば,高性能短波長レーザが実現される可能性が高い。
本研究では,CdSe,ZnSe,CdS量子ドットなどの検討を進め,CdSeにおけるオストワルドライプニングなどの不安定性の解明とZnSe,CdSでの安定性,ZnSe量子ドットにおける量子効果による発光のブルーシフト,CdS/ZnSeにおけるTypeIIのバンド構造の検討,さらにエネルギー緩和過程における縦型光学フォノン放出とそのエネルギー選択則が大きな役割を果たすことがわかった。一方ZnMgCdS/CdS系ではTypeIのヘテロ構造になることがわかり,発光効率の向上に有利である。これらの量子ドットをレーザ内の電界分布と効率よく結合させるために,このような量子ドットをAFMナノリソグラフィを用いた数10nm領域のパターニング技術を開発し,選択成長で量子ドットアレイを作製することができた。この構造での誘導放出は尚検討中であるが,GaNにInを添加することにより,光励起の誘導放出を観測した。

  • 研究成果

    (15件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (15件)

  • [文献書誌] I.Suemune: "Semiconductor Photonic Dots : Visible-Wavelength-Sized Optical Resonators"Appl.Phys.Lett.. 74,14. 1963-1965 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] A.Avramescu: "Nucleation in the Nanometer Scale Selective Area Grouth of II-VI Semiconductors"Jpn.J.Appl.Phys.. 38,5B. L563-L566 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] A.Ueta: "Nucleation and Faceting in Selectively Grown 2nS Pyramiclal Dot Array for Short-wavelength Light Emitters"Jpn.J.Appl.Phys.. 38,7A. L710-L713 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] T.Tawara: "Growth and Luminescence Properties of Solt-organized ZnSe Quantum Dots"Appl.Phys.Lett.. 75,2. 235-237 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] A.Ueta: "Fabrication of Selectively Grown II-VI Widegap Semiconductor Photonic Dots on (001) GaAs with MOMBE"J.Cryst.Growth. 209. 518-521 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] A.Ueta: "Enhancement of Spantaneous Emission by ZnS-based II-VI Semiconductor Photonic Dots"J.Cryst.Growth. (印刷中).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 末宗幾夫: "日本表面科学会編「図解・薄膜技術」"培風館. 272 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 末宗幾夫: "「半導体大辞典」"工業調査会. 2011 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] I. Suemune: "Semiconductor Photonic Dots : Visible-Wavelength-Sized Optical Resonators"Appl. Phys. Lett. 74, 14. 1963-1965 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] A. Avramescu: "Nucleation in the Nanometer Scale Selective Area Growth of II-VI Semiconductors"Jpn. J. Appl. Phys.. 38, 5B. L563-L566 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] A. Ueta: "Nucleation and Faceting in Selectively Grown ZnS Pyramidal Dot Array for Short-wavelength Light Emitters"Jpn. J. Appl. Phys.. 38, 7A. L710-L713 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] T. Tawara: "Growth and Luminescence Properties of Self-organized ZnSe Quantum Dots"Appl. Phys. Lett.. 75, 2. 235-237 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] A. Ueta: "Fabrication of Selectively Grown II-VI Widegap Semiconductor Photonic Dots on (001) GaAs with MOMBE"J. Cryst. Growth. 209. 518-521 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] A. Ueta: "Enhancement of Spontaneous Emission by ZnS-based II-VI Semiconductor Photonic Dots"(to be published).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] I. Suemune: "edited by T. Sugano and T. Kawanishi, Kogyo-chosakai"Handoutai Daijiten (in Japanese). 2011 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より

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公開日: 2001-10-23  

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