| 研究課題/領域番号 |
09480099
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| 研究機関 | 京都大学 |
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研究代表者 |
今西 信嗣 京都大学, 工学研究科, 教授 (10027138)
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| 研究分担者 |
今井 誠 京都大学, 工学研究科, 助手 (60263117)
伊藤 秋男 京都大学, 工学研究科, 助教授 (90243055)
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| キーワード | 電子的スパッタリング / 重イオンビーム / クラスターイオン / 放出収率 / 放出角度分布 / 2次イオン初期エネルギー / 飛行時間測定 / 照射効果 |
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| 研究概要 |
1. 研究目的
本研究課題は、高速領域、つまり電子的衝突過程が支配する速度領域で、重イオンを不導体に照射し、論体から放出するクラスター粒子の電荷分布、質量分布、放出初期エネルギー分布、放出角度分布を、入射イオン種とターゲット化学種を系統的に変えて測定する。このことにより、電子的スパッタリングの基本的な機構の解明を行い、あわせて(1)電子デバイスの3次元的加工、(2)宇宙電子デバイスのシングルイベント損傷、(3)固体表面上にナノスケールオーダーの凹凸空間を作るなど表面の改質・機能化など応用技術の発展に資する。
2. 今年度に得られた成果
(1) MeVエネルギー領域のSi、CuおよびAgをSiO_2などのターゲットに照射し、放出する原子状多価イオンならびにクラスターイオンを直線型飛行時間分析器を用いて測定し、質量分布ならびに2次イオンの放出初期エネルギー分布を測定した。放中初期エネルギー分布の精度は0.1eVである。
(2) 原子状イオンについての初期エネルギーは多価になるにつれ急速に増加する。
(3) 発生するクラスター正イオンの初期エネルギーは原子状イオンに比べ非常に低い。
(4) クラスターイオンの系列が同じものは初期エネルギー分布はほぼ等しい。
(3) 得られた2次イオンの放出初期エネルギー分布を検討し、電子的スパッタリングの生成機構に力点をおいてまとめ公表した。
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