| 研究課題/領域番号 |
09555009
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 展開研究 |
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| 研究分野 |
応用光学・量子光工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
春名 正光 大阪大学, 医学部, 教授 (20029333)
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| 研究分担者 |
紙中 伸征 九州松下電器(株), デバイス部門・デバイス研究所, 所長
近江 雅人 大阪大学, 医学部, 助手 (60273645)
伊東 一良 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (80113520)
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| 研究期間 (年度) |
1997 – 1998
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| キーワード | 位相屈折率 / 群屈折率 / 低コヒーレンス光干渉 / 屈折率と厚さ同時測定 / 薄膜の屈折率測定 |
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| 研究概要 |
本年度は、前年度で試作したSLD低コヒーレンス光干渉による位相・群屈折率と厚さ同時測定装置を薄板/膜サンプルへ適用し、測定精度の実験的検証を行った。新たにステージ制御と干渉縞の包絡線検波によるn、t同時測定の自動化を行った。また、測定波長域の拡大と散乱媒質(生体組織)に適用するための干渉信号検出系の改良を行った。
1. 低コヒーレンス干渉計と微動ステージを融合した測定系を用いて、波長分散に基づく媒質の位相屈折率と群屈折率の分離測定を提案し、厚さ1mm以上の透明板において測定精度<0.2%が得られた。この実験結果をもとに、50×60cm^2の光学ブレッドボード上に微小光学部品とクローズドループ制御微動ステージを搭載して小型測定系を試作した。
2. ステージ制御と干渉縞の包絡線検波によるn、tの自動測定を行った。波長分散の補正項を用いたn_P、t同時測定、特殊サンプルホルダを用いたn_P、n_g、t同時測定手法において約3分以内の測定が可能になった。
3. 上述の干渉計に新たに分散補償と反復走査法を取り入ることで、厚さ10μm以下の薄板/膜の屈折率と厚さ同時測定が可能になった。厚さ〜1mm、1μm/stepのステージで精度<0.2%、厚さ〜20μm、0.1μm/stepのステージで精度<1.0%が得られた。
4. 測定精度の向上と測定波長域の拡大を図るために、SLDより波長幅の広いLEDを光源とする低コヒーレンス干渉光学系を検討し、その基礎特性を評価した。
5. 散乱媒質については、まず生体組織のin vitro測定を行った。とくにヒト歯牙、爪等の硬組織を薄板研磨加工して測定を行い、本手法の有効性を実証した(厚さ100μmで精度<1.0%)。
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