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1999 年度 研究成果報告書概要

磁気・電子・光学部品ガラスのサブナノメータ加工システムと多目的加工機械の創作研究

研究課題

研究課題/領域番号 09555036
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 機械工作・生産工学
研究機関茨城大学

研究代表者

江田 弘  茨城大学, 工学部, 教授 (60007995)

研究分担者 山本 佳男  東海大学, 工学部, 助教授 (20272114)
研究期間 (年度) 1997 – 1999
キーワードガラス材料 / 多目的加工機械 / 磁気・電子・光学部品 / 延性モード加工 / 微小塑性領域 / 研削 / 研磨 / 微小引っかき実験
研究概要

従来、複数の工作機械により行われていた磁気・電子・光学部品ガラス加工の加工工程簡略によるコスト削減、および生産性向上を図るため、研削(ナノメータオーダ)から研磨(サブナノメータ)までを、一台の機械で対応できる研削-研磨融合加工機械システムの開発する。そこでは延性モード加工条件を一般化すると同時に、ガラスのナノメータオーダ表面精度の加工条件の割り出しを図る。
平成11年度は
[I]開発加工機械による各供試ガラス材料のサブnm寸法精度加工
[II]国際会議等における研究成果報告
[III]では、平成9〜11年度における研究成果をまとめ、報告書を作成した。
を行った。以下、研究成果を記述する。
[I]では、既設備の多目的加工装置を使用し、平成lO年度年度に明らかにした各供試ガラスの延性モード加工条件を考慮しながら超精密研削実験を行い、表面寸法精度サブnm精度を達成した。さらに、弾性砥石を用いた研削・研磨融合システムによる供試ガラスの超精密仕上げ加工を行った。研究成果の一部はJournal of the Balkan Tribo1ogical Association(5巻,2号,pp.95-104)に掲載されている。
[II]では、平成10年度に開発済みの加工システムと、同じく平成10年度に評価されたガラスの延性モード引っかきおよび研削条件の一般化の結果を主体に、国内諸学会および国際会議(1.EUSPEN'99,Germany,2.ICOSN'99,Yokohama,3.ICPE-9,Osaka)等にて研究成果の公表を行った。
[III]では、平成9〜11年度における研究成果をまとめ、報告書を作成した。

  • 研究成果

    (22件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (22件)

  • [文献書誌] H.Eda,H.Hamada,Y,Tomita and Y.Yamamoto: "Study on Super-Fine Diamond Cluster with Application to Ultra-Precision Surface Generation"Journal of the Balkan Tribological Association. 5・2. 94-104 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] H.Eda,L.Chouanine,J.Shimizu and L.Zhou: "Development of System and Key-Components for Ductile Mode Grinding"Proceeding of Int.Conf.Proc.EUSPEN'99, Germany. 222-225 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] H.Eda,L.Chouanine,J.Shimizu and L.Zhou: "Development of State-of-Art Devices on the Sub-nanometer Grinding Machine Tool for Optical Glasses"Proceedings of Int.Conf.OCOSN'99, Yokohama. 344-347 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] H.Eda,J.Shimizu and L.Zhou: "Study on Ultra-Precision Machining of Ceramics for Optical Components"Proceedings of Int.Conf.OCOSN'99, Yokohama. 420-423 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] H.Eda,J.Shimizu,L.Zhou,Y.Takimoto and A.Muroya: "Giant Magnetostrictive Positioner for Single Diamond Turning of Silicon Substrate"Proceedings of Int.Conf.ICPE-9, Osaka. 187-192 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] H.Eda,Y.Yamamoto,T.Ishikawa,L.Zhou and T.Kawakami: "Design Concept and System Development of Machining Under a Scanning Electron Microscope"Proc. Miniaturized Systems with Micro-Optics and MEMS, Santa Clara. 310-318 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] H. Eda and Y. Yamamoto: "Giant magnetostriction Materials"Int. J. of Japan Society of Precision Engineering. 31-2. 83-86 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] L. Chouanine, H. Eda and J. Shimizu: "Analytical Study on Ductile-Regime Scratching of Glasses Using Sharply Pointed Tip Diamond Indenter"Int. J. of Japan Society of Precision Engineering. 31-2. 109-114 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] L. Chouanine, H. Eda, M. li: "Sub-nanometer Precision Grinding of Optical and Electron Glasses under Ductile-Regime Conditions"Proc. Int. Conf. UME4 (Braunschweig). 351-355 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Y. Tomita, H. Eda and J. Shimizu: "A Study of Physical and Structural Features of High Porous Resin Bonded Grinding Stone"Proc. Int. Conf. ECCM-8 (Italy). Vol.3. 365-372 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] H. Eda, Y. Yamamoto, Y. Tomita and J. Shimizu: "Giant Magnetostriction Composite Materials and Its Applications to an Actuator"Proc. Int. Conf. ECCM-8 (Italy). 3. 549-556 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] L. Chouanine, H. Eda and J. Shimizu: "Development of Key-Technology on the State-of-the Art Machine Tool and Generalization of Grinding Forces under Ductile Mode Grinding Experiments"Int. J. of Japan Society of Precision Engineering. 32-2. 98-103 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] J. Shimizu, H. Eda, M. Yoritsune and E. Ohmura: "Molecular Dynamics Simulation of Friction on the Atomic Scale"Nanotechnology. 9-2. 118-123 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] H. Eda, J. Shimizu and Y. Tomita: "Experiment and Simulation Study on Combined Mechanism of Micro World Scratching"Proc. Int. Conf. ASIATRIB'98 (China). Vol.1.1. 283-287 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] H. Eda, J. Shimizu, Y. Tomita: "Sliding Friction Mechanism on Ultra Precision Surface in Atomic Scale"Proc. Int. Conf. ASIATRIB'98 (China). Vol.1.1. 314-318 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Hiroshi Eda: "Computer Simulation in Abrasive Grinding Process, Journal of Japan Society of Precision Engineering"Int. J. of Japan Society of Precision Engineering. 32-4. 233-238 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] H. Eda, H. Hamada, Y. Tomita and Y. Yamamoto: "Study on Super-Fine Diamond Cluster with Application to Ultra-Precision Surface Generation"Journal of the Balkan Tribological Association. 5-2. 94-104 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] H. Eda, L. Chouanine, J. Shimizu and L. Zhou: "Development of State-of Art Devices on the Sub-nanometer Grinding Machine Tool for Optical Glasses"Proc. Int. Conf. ICOSN'99 (Yokohama). 344-347 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] H. Eda, J. Shimizu and L. Zhou: "Study on Ultra-Precision Machining of Ceramics for Optical Components"Proc. Int. Conf. ICOSN'99 (Yokohama), Japan. 420-423 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] H. Eda, L. Chouanine, J. Shimizu and Libo Zhou: "Development of System and Key-Components for Ductile Mode Grinding"Proc. Int. Conf. EUSPEN'99 (Germany). 222-225 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] H. Eda, L. Zhou and J. Shimizu: "Computer Assisted Modeling and Simulation for Grinding Process"Proc. Int. Conf. EUSPEN'99 (Germany). 226-229 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] H. Eda, T. Mori, L. Zhou, K. Kubota, and J. Shimizu: "Powder Metallurgic Giant Magnetostrictive Material and Applications in Micro-actuator and Micro-sensors"Proc. Inf. Conf. Materials and Device Characterization in Micromachining II, Santa Clara. 114-123 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より

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公開日: 2001-10-23  

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