| 研究課題/領域番号 |
09555040
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| 研究機関 | 電気通信大学 |
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研究代表者 |
竹内 芳美 電気通信大学, 電気通信学部, 教授 (50107546)
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| 研究分担者 |
沢田 潔 ファナック(株), 基礎技術研究所, 室長
浅川 直紀 電気通信大学, 電気通信学部, 助手 (50231874)
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| キーワード | 超精密加工 / マイクロ加工 / ダイヤモンド工具 / 5軸制御 / 溝加工 |
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| 研究概要 |
超精密5軸制御マシニングセンタ(分解能=1nm)を自在に稼働させることのできるCAD/CAMソフトウェアを開発し、工作物の取り付け面以外の5面からマイクロ加工を実施できる技術を確立することを最終目的とする。そのため、微細加工用ダイヤモンド疑似ボールエンドミルを開発する。現在まで、半径0.1mmの工具を製作して加工を行っているが、これを0.03mmまでにし、しかも機上で切れ刃形状を修正・成形できる装置を試作する。マイクロ部品としては、微細溝や微細梁のような基礎形状やMRヘッド、大量情報伝送用光ファイバを結合するシリコンの微細曲面部品から始め、各種材料を用いて5軸制御の微細な立体形状の製作を試みる。
上記のような計画の下に、1年度の研究成果は以下のようである。
(1)溝加工用の微細回転工具、ならびにボール部の直径0.03mm程度の小径のダイヤモンド疑似ボールエンドミルを試作し、マイクロ部品として、微細溝の基礎形状を始めとしてマイクロエンコーダ用の符号板の放射状超精密溝加工に成功し。微細曲面部品など実用的な観点からマイクロフレネルレンズも試作した。
(2)5軸制御NCデータは3次元CADデータ、あるいはスキャニングデータを利用して生成することになる。そこで、CADデータからCLデータを生成するメインプロセッサを開発するとともに、CLデータに相当するスキャニングデータも機械構造に適合したNCデータへ変換するポストプロセッサを開発し、蒲鉾型の簡単な形状の5軸制御加工を実施した。
(3)アルミ合金、無酸素銅などの金属材料で作成したマイクロ溝を、ごみが付着しない環境であるグローブボックスを用い、接着剤の不要なマイクロ接合を試みた。
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