| 研究課題/領域番号 |
09555048
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| 研究機関 | 東京都立大学 |
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研究代表者 |
原田 達男 東京都立大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70244415)
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| 研究分担者 |
芝井 広 名古屋大学, 大学院・理学研究科, 教授 (70154234)
角田 陽 東京都立大学, 大学院・工学研究科, 助手 (60224359)
佐久間 秀夫 東京都立大学, 大学院・工学研究科, 助手 (20128573)
古川 勇二 東京都立大学, 大学院・工学研究科, 教授 (10087190)
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| キーワード | グリズム / 赤外線分光 / 回折格子 / プリズム / シリコン単結晶 / ルークングエンジン / 異方性エッチング |
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| 研究概要 |
赤外分光観測用途を主対象とした高性能グリズム製作法として、機械・化学複合加工法を提案し、グリズム設計法及び製作法に関する基礎的研究を行った。
このグリズム製作法は、あらかじめ特定結晶面(<111>面)を溝角相当量傾斜させて切断・研磨したシリコン単結晶基板を使用し、回折格子製作用専用工作機械であるルーリングエンジンを使用して基板上に機械的に回折格子パターンを形成し、シリコン単結晶の異方性エッチングにより、結晶方位により定まる正確な鋸歯状を形成するものである。
平成10年度は、ルーリングエンジンの数値制御による不等間隔格子溝形成を前提に、格子溝配列とスペクトル収束機能に関する理論的検討を行い、平成9年度の研究成果を適用した機械・化学複合加工法により、6μmを中心とする波長領域を分光観測対象とする赤外用グリズムを試作した。
試作した頂角及び溝角7°、格子溝間隔20μmのグリズムの鋸歯状格子溝回折格子は、従来の塑性加工を利用する機械的回折格子製作法と比較し、格子溝角及び溝面平坦度に関しより高い形状精度を示し、シリコン単結晶を基板とする機械・化学複合加工法が、高性能赤外用グリズム製作法に適していることが明らかになった。
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