1997 年度実績報告書

近接場光によるナノ寸法の光化学気相堆積法の確立

研究課題

研究課題/領域番号	09555096
研究機関	東京工業大学
研究代表者	大津元一東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (70114858)
研究分担者	横森清株式会社リコー, 研究開発本部RD企画室, 室長興梠元伸東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 助手 (10251662) 筒井一生東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 助教授 (60188589)
キーワード	近接場 / ファイバ / プローブ / 気相化学堆積
研究概要	近接場光を用いて光化学気相堆積を行うことを提案し、その際、光ファイバプ-ブ先端に生成物が付着するのを防ぐため、前期核形成法を採用した。ジメチル亜鉛分子から亜鉛原子の前期核を形成するのに必要とされる柴外光パワー密度は10〜1000W/cm^2であることを見積もった。実験装置として、この柴外光を得るためのアルゴンレーザからの第二高調波発生装置、真空装置、ガス流量制御系、プローブ走査系を開発した。これらを用い、まずファイバ端面に出射する光によって亜鉛の化学気相成長ができることを確認した。さらに、ファイバを先鋭化してプローブを作成し、その先端にしみ出す光によっても亜鉛の化学気相成長を確認した。これらの結果をもとに、実験装置の性能向上のための設計指針を得るための基礎データを取得した。すなわち、必要な光パワー密度を得るためのファイバプローブの開口径、光出射効率の推定、それを実現するために、2段階テ-パプローブが適していること、などを確認した。また、より効率高い気相成長のためにジエチル亜鉛分子を使い、柴外吸収率を増大すること、さらに気相成長後の亜鉛の堆積パターンを観測するために、上記のファイバプローブを原子間力顕微鏡プローブとして併用し、成長後、真空装置内でトポロジー観察すること、などを提案し、特に原子間力顕微鏡動作を兼ねたプローブ走査系としてStickSlip動作する安定な駆動装置を開発した。この結果、100nm以下の先幅の亜鉛堆積を実現する見通しを得た。

研究成果
(7件)

すべてその他

すべて文献書誌 (7件)

[文献書誌] T.Saiki, N.Saito, and M.Ohtsu: "Near-field optical study of semiconductor photonic devices" Materials Science & Engineering. vo1.B48,no.1. 162-168 (19987)
[文献書誌] A.V.Zvyagin, J.D.White, M.Kourogi, M.Kozuma, and M.Ohtsu: "Solution to the bistability problem in shear force distance regulation encountered in scanning force and near-field optical microscope" Appl.Phys.Lett.Vo1.71,no.17. 2541-2543 (1997)
[文献書誌] T.Yatsui, M.Kourogi, and M.Ohtsu: "Highly efficient excitation of optical near-field on an apertured fiber probe with an apertured fiber probe with an asymmetric structure" Appl.Phys.Lett.vo1.71,no.13. 1756-1758 (1997)
[文献書誌] S.Mononobe, R.UmaMaheswari, and M.Ohtsu: "Fabrication of a pencil-shaped fiber probe with a nanometric protrusion from a metal film for near-field optical microscopy" Opt.Express. vo1.1,no.8. 1-5 (1997)
[文献書誌] H.Ito, K.Sakaki, W.Jhe, and M.Ohtsu: "Evanescent-light induced atom-guidance using a hollow optical fiber with light coupled sideways" Opt.Commun.vo1.141. 43-47 (1997)
[文献書誌] 大津元一: "入門レーザー" 裳華房, 200 (1997)
[文献書誌] 大津元一, 河田聡: "近接場ナイフォトニクスハンドブック" オプトロニクス社, 270 (1997)

1997 年度 実績報告書

近接場光によるナノ寸法の光化学気相堆積法の確立

研究代表者

大津 元一 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (70114858)

研究成果

[文献書誌] T.Saiki, N.Saito, and M.Ohtsu: "Near-field optical study of semiconductor photonic devices" Materials Science & Engineering. vo1.B48,no.1. 162-168 (19987)

[文献書誌] A.V.Zvyagin, J.D.White, M.Kourogi, M.Kozuma, and M.Ohtsu: "Solution to the bistability problem in shear force distance regulation encountered in scanning force and near-field optical microscope" Appl.Phys.Lett.Vo1.71,no.17. 2541-2543 (1997)

[文献書誌] T.Yatsui, M.Kourogi, and M.Ohtsu: "Highly efficient excitation of optical near-field on an apertured fiber probe with an apertured fiber probe with an asymmetric structure" Appl.Phys.Lett.vo1.71,no.13. 1756-1758 (1997)

[文献書誌] S.Mononobe, R.UmaMaheswari, and M.Ohtsu: "Fabrication of a pencil-shaped fiber probe with a nanometric protrusion from a metal film for near-field optical microscopy" Opt.Express. vo1.1,no.8. 1-5 (1997)

[文献書誌] H.Ito, K.Sakaki, W.Jhe, and M.Ohtsu: "Evanescent-light induced atom-guidance using a hollow optical fiber with light coupled sideways" Opt.Commun.vo1.141. 43-47 (1997)

[文献書誌] 大津元一: "入門レーザー" 裳華房, 200 (1997)

[文献書誌] 大津元一, 河田 聡: "近接場ナイフォトニクスハンドブック" オプトロニクス社, 270 (1997)

1997 年度実績報告書

大津元一東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (70114858)

[文献書誌] 大津元一, 河田聡: "近接場ナイフォトニクスハンドブック" オプトロニクス社, 270 (1997)