| 研究課題/領域番号 |
09558054
|
|---|
| 研究機関 | 筑波大学 |
|---|
研究代表者 |
長 照二 筑波大学, 物理学系, 教授 (80171958)
|
|---|
| 研究分担者 |
坂本 宜照 日本学術振興会, 特別研究員
小波蔵 純子 日本学術振興会, 特別研究員
佐藤 恵二 セイコー電子工業(株)技術本部, 開発課, 研究員
斎藤 豊 セイコー電子工業(株)技術本部, 開発課, 課長
近藤 真史 (平田 真史) 筑波大学, プラズマ研究センター/物理学系, 講師 (70222247)
|
|---|
| キーワード | 中性粒子計測 / 電子計測 / X線計測 / 半導体計測器 / 電子温度計測 / イオン温度計測 / 広エネルギー域計測器 / プラズマ計測 |
|---|
| 研究概要 |
平成9年度は、[I]新理論による「同時入射イオン種・中性粒子・電子・X線の弁別・同時測定可能、大出力広エネルギー領域計測器」用、新開発半導体検出素子の設計・製作の為に、先ず(1)新理論を用いた新開発半導体素子の設計・特性計算を行った。特に、イオン及び荷電交換中性粒子に対する半導体素子の感度を、計算・設計した。(2)以上の新開発半導体素子の設計・特性計算に基づき、従来は計測できなかった低イオンエネルギー域にも著しく高感度を持つ新方式の新開発半導体検出素子を、最終デザインした。次に[II]作成した新開発半導体検出素子の特性試験を、(3)イオン・荷電交換中性粒子に対する、イオンビームラインを用いて行い、設計性能を実証した。(4)その他の、実用上必要である、以下に示す基礎特性の試験・検討を併せて行った。即ち、(i)プラズマ計測時の真空環境下に於ける、計測素子の安定稼働性試験。(ii)プラズマ閉じ込め用強磁場下に於いて、使用する極細配線等へ外力がかかった際の、構造上の問題を検討。(iii)プラズマ実験時、ベ-キング等の温度変化に対する素子への影響の検討。(iv)プラズマ実験時の、設置スペースに対応したコンパクト化の検討。(vi)プラズマ実験時のノイズに対するシールド対策。これらを検討し対策を施した。[III]以上の[I][II]に基づく、プラズマ計測用新開発イオン・荷電交換中性粒子・電子・X線計測用半導体検出素子を、特許技術により試作開始した。
|
