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1999 年度 実績報告書

ガス流量変調法によるプラズマ分光分析の高感度化

研究課題

研究課題/領域番号 09640713
研究機関東北大学

研究代表者

我妻 和明  東北大学, 金属材料研究所, 助教授 (30158597)

研究分担者 松田 秀幸  東北大学, 金属材料研究所, 助手 (00181735)
キーワード発光分光分析 / ICPプラズマ励起源 / ガス流量変調法 / グロー放電励起源 / バイアス電流変調法 / 変調分光法
研究概要

ICP発光分析法において、その定量限界を改善するためにはS/B比(signal-to-background ratio)及びS/N比(signal-to-noise ratio)を高める必要がある。変調分光法はこの目的に適した測光方法であり、光信号の中から変調された成分のみを選択的に検出することができ、雑音成分を除去することが可能である。本研究では、ICP発光分析法に変調測光を適用するために新しいプラズマ制御法を開発した。すなわち、アルゴンプラズマに微量の空気ガスを導入すると発光強度が増大する現象に注目して、空気ガスを周期的に導入することによりプラズマ本体を変調し発光強度に周期的な成分を作り出すものである。この方法をプラズマガス流量変調法と名づけ公表した。本法によれば、定量限界は従来の測定法と比較して10倍以上改善することを確かめ、論文、日本分析化学会議演、及びCitac99国際会議(Tsukuba,Oct.1999)において報告した。
グロー放電発光分析法において、高周波グロー放電に発生する直流バイアス電圧を制御して、プラズマ内にバイアス電流を流すことにより、発光強度が10倍程度増大する現象を見いだした。この方法を、バイアス電流導入法と名づけ公表した。また、このバイアス電流をスイッチング回路を用いて断続することにより、グロー放電プラズマを変調することが可能となる。本法によれば、定量限界は従来の測定法と比較して20-50倍改善することを確かめ、論文、鉄鋼協会講演、及びCSIXXXI国際会議(Ankara-Turkey,Sept.1999)において公表した。

  • 研究成果

    (7件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (7件)

  • [文献書誌] K.Kubota: "Application of plasma gas flow modulation technique for accurate estimation of the emission intensities in ICP-AES"Analytical Sciences. 16. in press (2000)

  • [文献書誌] H.Matsuta: "Characteristics of a 40.68-MHz radio frequency boosted low power glow discharge lamp"Spectrochimica Acta Part B. 54B. 1783-1792 (1999)

  • [文献書誌] K.Wagatsuma: "Control of d.c. bias current in radio-frequency glow discharge source and its emission characteristics"Spectrochimica Acta Part B. 54B. 527-535 (1999)

  • [文献書誌] K.Wagatsuma: "Analytical performance of a radio-frequency-powered glow discharge excitation source associated with bias voltage modulation"Fresenius J. Analytical Chemistry. 363. 333-338 (1999)

  • [文献書誌] K.Wagatsuma: "Application of a bias current modulation technique to radio-frequency glow discharge optical emission spectrometry"Analytical Sciences. 15. 517-523 (1999)

  • [文献書誌] K.Wagatsuma: "Depth profiling of thin surface layers using the amplitude modulation method in radiofrequency-powered glow discharge optical emission spectrometry"Surface and Interface Analysis. 27. 63-67 (1999)

  • [文献書誌] K.Wagatsuma: "Glow Discharge Optical Emission Spectrometry"John Wiley & Sons, Ltd.(分担執筆). 21(854) (1999)

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公開日: 2001-10-23   更新日: 2016-04-21  

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