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本グループがこれまでに開発してきた40KVモット分析器の設計ノウハウを生かし、非弾性散乱電子による影響を押さえ装置性能を向上させるために加速電圧を60KVから80KV程度まで上げられる構造を検討する。電極形状は有限差分法による電界・電子軌道シミュレーションを用いて設計するが、阻止電極構造は変えずに大きさをさらに50%程度縮小する。また散乱電子検出系の電子レンズ系の設計も行い、本グループがこれまで作成したモット分析器の装置性能より一桁よい装置性能を有する分析器を設計する。また設計した電極・絶縁体構造を試作し、簡易的な偏極電子源を作成して性能試験を行う。
本年度の実績は以下の通りである。
小型モット分析器の加速電極構造の検討と試作
非弾性散乱電子の発生を少なくし、設定出来る加速電圧値を引き上げるために、加速電極をマウントする絶縁セラミックベースプレートの形状の検討を行った。また入射電子としては、SEMで検出される2次電子を仮定し、SEMでの収差特性を考慮した電極形状設計を行った。モット分析器のS/Nを向上させるために、開口が大きくかつ非弾性電子阻止能の高い阻止電極を新たに設計し、散乱電子検出器の前部に配置する構造を考えた。
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