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1998 年度 研究成果報告書概要

シリコン表面上の金属半導体成長における外部応力効果の研究

研究課題

研究課題/領域番号 09650026
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 表面界面物性
研究機関東京工業大学

研究代表者

箕田 弘喜  東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 助手 (20240757)

研究期間 (年度) 1997 – 1998
キーワード外部応力 / シリコン / ゲルマニウム / インシウム / 分域構造 / 3次元島成長
研究概要

3属原子であるInを下地温度450〜500℃の条件でSi(001)表面上に蒸着し、その表面上に形成される4×3構造の分域構造について外部応力の影響を調べた。具体的には4×3構造の方位分域である4×3、および3×4分域の面積比が、外部応力の印可によりどのように変化するかを調べた。その結果、あらかじめ圧縮性の応力を印可しておいて、その表面上にInを蒸着したときに形成される4×3構造の分域と、蒸着前の2×1清浄表面の分域との間の関係を調べたところ、印可する一軸性応力の方向と垂直な分域である1×2分域上に形成される3×4分域は、蒸着前の1×2分域に比べてその面積が増大し、3×4構造の形成が、下地の2×1表面内部応力を弱める働きをしていることが分かった。また、Si表面上のGeの成長における外部応力の永享についても調べた。具体的には、3次元の島成長の始まる臨界膜厚は、圧縮性の応力を印可した場合に縮小し、伸張性の応力を印可した場合に増大することがわかった。また、この傾向は、わずか0.1%の応力を印可しただけでも認められることがわかった。これは、SiにくらべGeの格子定数が約4%大きいことから、伸張性の応力を印可した場合には、下地の格子がわずかながら増大することで、蒸着したGeの格子の歪みの程度が小さくなることが原因であると考えられる。また、伸張応力の印可により、サイズの小さな3次元の島が消失することも観察された。

  • 研究成果

    (4件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (4件)

  • [文献書誌] H.Minoda and K Yagi: "Surface Morphology of Au-absorbrd Si(001) Vicinal Surface studied by Reflection Electron Microscopy" Surface Science. (in press). (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Y Takahashi, H.minoda Y. Tanishiro, K.Yagi: "Cu-induced step Bunching on a Si(III)Vicinal Surfaces studied by Reflection Electron Microscopy" Surface Science. (in press). (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] H.Minoda and K.Yagi: "Surface Morphology of An-adsorbed Si(001)Viciral Surface Studied by Reflection Electron Microscopy" Surt.Sci.(in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Y.Takahashi, H.Minoda, Y.Tanishiro and K.Yagi: "Ca-induced Step Burching on a Si(III)Viciral surfaces studied by Roflection Electron Microscopy" Surt.Sci.(in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より

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公開日: 1999-12-08  

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