|
1.方式検討 マイクロアクチュエータにより干渉長可変のファブリペロ-干渉計を応用した光干渉型ディスプレイ、及びマイクロアクチュエータにより光シャッタを開閉する光シャッタ型ディスプレイの2方式を机上検討により比較し、デバイス構造と実現性の観点から静電型マイクロアクチュエータを用いた光干渉型を選択した。
2.シミュレーション 光干渉型ディスプレイをモデル化し、光学的特性及び電気-機械的動作に関するシミュレーションを行った。ディスプレイを構成する全反射ミラー(固定電極)とハーフミラー(可動電極)の材質、厚みや両ミラー間のギャップ幅(干渉長)を変えた時の画素の入射光に対する反射特性を計算した。また、静電型マイクロアクチュエータの動作に対する機械的構造の影響を計算により調べた。シミュレーション結果をデバイス構造の設計及び製作プロセスの設計のための基本データとした。また、マトリックス構成で複数画素により画像を表示する場合の駆動方法の検討も行った。
3.設計 デバイス構造(機械的構造、構成材料)の設計、及び製作プロセスの設計を行った。光干渉型ディスプレイを表面マイクロマシニングにより実現するためのデバイス構造と製作プロセスを設計した。シミュレーション結果をもとに各部の具体的な寸法と材料を決め、デバイス製作のためのフォトマスクの設計を行った。
|
