| 研究課題/領域番号 |
09650385
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| 研究機関 | 和歌山大学 |
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研究代表者 |
金子 礼三 和歌山大学, システム工学部, 教授 (20283955)
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| 研究分担者 |
三輪 昌史 和歌山大学, システム工学部, 助手 (40283957)
土谷 茂樹 和歌山大学, システム工学部, 助教授 (30283956)
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| キーワード | マイクロアクチュエータ / ディスプレイ / 反射型 / ファヴリペロー干渉計 / 静電気力 |
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| 研究概要 |
1. フォトマス及びメタルマスクの作製
平成9年度行った設計に基づき、フォトマスク(6種)及び蒸着用メタルマスク(1種)製作のための図面を作成し、両マスクを外注で作った。
2. シミュレーション
光干渉型ディスプレイの表示特性を最適化するため、各表示画素における電気機械系および光学系(干渉計)に関するシミュレーションを継続して行った。
3. 光干渉型ディスプレイの試作
表面マイクロマシニング技術によりディスプレイを作製するにあたり、素子を構成する各部薄膜材料、特に犠牲層材料の再検討(最適化)を行った。そして各薄膜材料につき、その形成条件の最適化、および加工条件の最適化の検討を行った。
ファブリ・ペロー干渉計を構成するミラー材料としてニッケルまたはクロム、犠牲層材料として非結質シリコンまたはポリイミド使用することとし、平成11年前半でのマトリックスアレイ型ディスプレイの1次試作完了を目指し、現在作業を進めている。
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