| 研究課題/領域番号 |
09650385
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| 研究機関 | 和歌山大学 |
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研究代表者 |
金子 礼三 和歌山大学, システム工学部, 教授 (20283955)
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| 研究分担者 |
三輪 昌史 和歌山大学, システム工学部, 助手 (40283957)
土谷 茂樹 和歌山大学, システム工学部, 助教授 (30283956)
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| キーワード | マイクロアクチュエータ / ディスプレイ / 反射型 / ファブリペロー干渉計 / 静電気力 |
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| 研究概要 |
平成10年度はファブリペロー干渉計を構成する2枚のミラー(可動ミラーと固定ミラー)間の空隙を形成するための犠牲層材料として非晶質シリコンを試みたが、犠牲層をエッチング除去(犠牲層エッチング)する際、エッチング液の化学的作用によりニッケルの可動ミラー部がダメージを受けるという問題があった。
平成11年度は、可動ミラー部への影響が少ないと考えられるエッチング液で除去可能な犠牲層材料として、有機材料系の超LSI用高耐熱ポリイミドを試みた。基板上に所定パターンのポリイミド犠牲層を形成する技術、その上に窒化シリコンからなる(可動ミラーと同じ)パターンを形成する技術、同パターンとニッケル固定ミラー間の犠牲層を除去して微小な空隙を形成する技術、は確立した。しかし、可動ミラー部を半透明ミラーとするためこれを窒化シリコンと極薄金属層の積層膜で構成し、エッチングにより可動ミラーのパターン形成を試みたが、パターンの損傷や段差部での段切れなどにより良好な可動ミラー兼可動電極(マイクロアクチュエータの可動電極としての機能を有する)が形成できず、ディスプレイの完成には至らなかった。
本研究補助金の支給は今年度で終了するが、引き続き可動ミラー部の材料、膜厚、成膜方法などを見直し、早期にディスプレイを完成させたい。
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