| 研究概要 |
種々の金属窒素化物マイクロコイル/マイクロチューブ合成し、その合成条件・微細構造の検討、特性評価を行った。
A) カーボンコイルのチタナイジング/窒化同時処理によるTiNコイルの合成:カーボンコイルをTiCl_4 +N_2 +H_2雰囲気中、800-1200℃で処理して、TiNマイクロコイルを得た。800℃では、長時間の反応でも、コイルの芯まで完全にTiN化できなかったが、l000 ℃では、芯まで完全にTiN化された。XRD.TEM観察からは中間生成物としてTiC相の生成は観察されず、カーボンのTiC化と同時にTiN化がおこるもの考えられた。原料として、非常に緻密に巻いたカーボンコイルを原料にすると、コイル形態は消失し、マイクロパイプ状のTiNが得られた。
B) TiCマイクロコイルの窒化処理によるTiNの合成:カーボンコイルをTiCl_4 +H_2雰囲気中で処理してTiCマイクロコイルを合成し、これをN_2雰囲気中、1000-1200℃で処理してTiN化した(二段処理法)。反応温度、時間に依存して、TiC相は次第にTiN相へ変化し、最終的に芯まで完全にTiNに変化した。
C) その他の金属窒化物コイル:NbN,TaNについて、直接・同時メタライジング/窒化処理法により合成した。いずれの場合の、固体内拡散律速でカーボンコイルは完全にNbN.TaNに変化した。この際、原料コイルの形態はほとんど変化しなかった。
D) 特性:金属窒化物コイルの比表面積は20-30m^2/g、バルク電気抵抗値は0.1-0.01Ωcm、電磁波吸収率は90%(800-900KHz)のオーダーであった。
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