| 研究概要 |
リラクサ-型強誘電体薄膜を作製するための作製手段でとしてイオンビームスパッタ装置を立ち上げた.本装置ではアルゴイオンガンからアルゴン原子で金属ターゲットをたたいてPb,Fe,Nbの活性金属原子を基板上へ跳ばし,さらに別の酸素ガンから活性酸素原子を基板上へ照射して基板上で金属原子の酸化反応を起こさせる.その際に,金属ターゲットは回転式なっており,複数のターゲットを取り付けることができる.それにより,金属の複合酸化物薄膜を作製する.現在,Pb(Fe_<1/2>Nb_<1/2>)O_3のペロブスカイト構造を得るための最適な条件を探索している.また,作製したリラクサ-型強誘電体薄膜の強誘電体特性を測定するための温度可変型強誘電特性測定システムを作製した.このシステムを用いることにより誘電率の温度依存性や強誘電ヒステリシスループの形状の温度依存性を調べることが可能になった.さらに,リラクサ-型強誘電体が示す散漫相転移のミクロな機構を明らかにするため,Fe原子の置かれている極微細構造を調べる後有力な手段であるメスバウアー分光法を適応している.これにより,ペロブスカイト構造の体心位置での電場勾配,電子密度あるいは結晶格子の硬さを測定できる.これまで,強誘電体の研究に関してメスバウアー分光法は他の材料に比べてあまり用いられていない.本研究では強誘電体の研究に置いて初めてメスバウアー分光法を系統的に用いてスペクトルの温度依存性を調べ,散漫相転移の機構を調べている.
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