| 研究概要 |
年度に引き続き,リラクサー型強誘電体薄膜を作製するための作製手段でとしてイオンビームスパッタ装置を立ち上げた.本装置ではアルゴンイオンガンからアルゴン原子で金属ターゲットをたたいてPb,Fe,Nbの活性金属原子を基板上へ跳ばし,さらに別の酸素ガンから活性酸素原子を基板上へ照射して基板上で金属原子の酸化反応を起こさせる.その際に,金属ターゲットは回転式なっており,複数のターゲットを取り付けることができる.各ターゲットごとに回転角速度を変えることにより薄膜の組成をコントロールできるようになっている.酸素ガンと回転式ターゲットを組み合わせて多元系金属の複合酸化物薄膜を作製する.本年度はPb(Fe_<1/2>Nb_<1/2>)O_3のペロブスカイト構造を作製するのに成功した.また,この薄膜が強誘電特性を有することも,新たに作製したリラクサー型強誘電体薄膜の強誘電特性を測定するための温度可変型強誘電特性測定システムを用いて確認した.キュリー点はバルク材のそれとほとんど同じ380Kであった.現在,さらに高品質の薄膜を作製するための条件を探索中である.さらに,リラクサー型強誘電体が示す散漫相転移のミクロな機構を明らかにするため,Fe原子の置かれている極微細構造を調べる後有力な手段であるメスバウアー分光法を適応している.これにより,ペロブスカイト構造の体心位置での電場勾配,電子密度あるいは結晶格子の硬さを測定できる.これまで,強誘電体の研究に関してはメスバウアー分光法は他の材料に比べてあまり用いられていない.本研究では強誘電体の研究に置いて初めてメスバウアー分光法を系統的に用いてスペクトルの温度依存性を調べ,散漫相転移の機構を調べている.
|
