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蒸着膜、スパッタリング膜、メッキ膜といった数μmから数百μmの膜厚を持つ機能性薄膜の付着力を、物理的に意味を持ついわゆるはく離強度として正確に測定できる方法を確立し、機能性薄膜の信頼性向上を目的として研究を進め、本年度は以下の成果を得た。
1. はく離試験の際、薄膜に直接力を加えて引き剥がすと薄膜が破断したり、大変形を生じるので、有効なはく離強度を求めることはできない。そこで本研究では薄膜の上に適当な材質、適当な膜厚の補強膜を付けて引き剥がすことを提案している。そこで本年度ははく離強度を評価したい薄膜に対してどのような材質どのような膜厚の補強膜を取り付けるのが適当かを明らかにした。
2. ABS樹脂の表面に無電解ニッケルメッキ膜を被覆した試験片を製作し、昨年度の研究において製作したはく離試験装置を用いてメッキ膜のはく離試験を行った。はく離試験に際しては本年度研究[1]で明らかにした適当な補強膜の条件に基づいて、板厚2.0mmの塩ビ板およびと0.5mmの鋼板の二種類の補強板を用いた。その結果両補強板の場合とも、メッキ膜がABS基板からうまく剥がれた。
3. はく離試験中のはく離荷重および荷重点変位を連続的に測定し、昨年度誘導したエネルギー解放率算定式にこれらの測定値を代入することにより限界エネルギー解放率を算定した。得られた値は補強板の種類・厚さ、さらにはく離位置に関係のない一定の値が得られ、はく離強度が定量的に求められることが明らかになった。
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