研究概要 |
1.原子間相互作用の厳密な評価のための第一原理分子動力学計算プログラムの開発 密度汎関数法に基づく擬ポテンシャルを用いた第一原理分子動力学プログラムを開発し,窒化ケイ素,窒化アルミニウムを始めとする物質に対して有効であることを示した。 2.窒化ケイ素に対する原子間ポテンシャルの評価 古典分子動力学法により窒化ケイ素を扱うための3体原子間ポテンシャルの評価を行った.その結果弾性定数,格子定数などをよく表現することが分かった. 3.AFM測定をシミュレートするための古典分子動力学プログラムの開発 評価した3体ポテンシャルを用いた古典分子動力学プログラムを作成し,基本的な動作を確認した. 4.圧子による打ち込みを受けた窒化ケイ素表面形状の原子間力顕微鏡による観測 20gfから200gfまでの圧子打ち込み力によって窒化ケイ素表面に付けられた圧痕付近をAFM(原子間力顕微鏡)を用いて詳細に観測することにより,原子間力顕微鏡のカンチレバ-と表面との相互作用に関する基礎的なデーターの収集を行った. 今後は,開発を行った分子動力学プログラムを用いて,カンチレバ-と表面の力学的相互作用について検討を行う予定である.
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