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本研究目的は、ブロックコポリマーテンプレートプロセスによる圧電特性を有する超高密度ナノワイヤーアレイ(PCNAs)薄膜の作製と、ナノジェネレータとしての圧電特性の評価である。
検討事項は以下である。
1)圧電ナノワイヤーアレイのロッドの直径、長さおよび密度と電流効率の相対関係の評価
2)ブロックコポリマーマスクを用いたウエットエッチング法によるナノジェネレータ用上部ナノ電極の作製
3)機械的エネルギーから電気エネルギーへの高変換効率を可能とするナノジェネレータの開発
圧電ナノワイヤーアレイは、他のナノデバイスと組み合わせたときにそれらを作動させることができる、新たなエネルギー供給型のナノデバイスとして応用が期待される。
本年度は、ブロックコポリマーテンプレート方にゾルーゲルプロセスを融合することにより超高密度Ta_2O_5圧電ナノワイヤーアレイを作製することに成功した。また、本研究の目的とするナノジェネレータの作製に重要な上部ナノ電極を設計することに成功した。
今後は、本年度得られている超高密度Ta_2O_5圧電ナノワイヤーアレイと、白金コートナノホールシリコン型ナノ電極との接合を検討し、機械的エネルギーから電気エネルギーへの高変換効率を可能とするナノジェネレータの開発を目指す。また圧電ナノワイヤーアレイのロッドの直径、長さおよび密度と電流効率の相対関係の評価を検討する。
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