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3Y-TZPおよび3Y-20Aを供試材として種々の超塑性変形条件下(温度範囲1573K〜1773K、初期ひずみ速度10^<-4>〜10^<-2>sec^<-1>)で引張変形し、初期空隙体積率の異なる試料を作成した。表面処理は、(1)プラズマCVD法(成膜温度973K、真空度0.6Torr、H_2ガス流量0.6l/min、N_2ガス流量3.6l/min)によるTiNの被覆、および(2)上記の処理後アーク式イオンプレーティング法(成膜温度723K)によるTiAlNの被覆を行った。硬さおよび曲げ強さは空隙体積率Vcの増加とともに低下するが、TiNおよびTiAlNの被覆により硬さは未変形の場合の値より大きく向上した。また曲げ強さは元の値の60〜90%まで回復した。硬さの向上にはTiNが、曲げ強さの改善にはTiAlNの方が有効であることが分かった。
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