| 研究課題/領域番号 |
10450037
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
高井 義造 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (30236179)
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| 研究分担者 |
生田 孝 大阪電気通信大学, 工学部, 教授 (20103343)
木村 吉秀 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手 (70221215)
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| キーワード | ホローコーン照明 / 焦点位置変調型画像処理 / 能動型画像処理 / 球面収差補正 / 非点収差補正 / コマ収差補正 / 無収差観察 / 超解像電子顕微鏡 |
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| 研究概要 |
本研究は、我々がこれまで開発してきた能動型焦点位置変調法をホローコーン照明下に対しても適用できるように拡張し、色収差と球面収差の影響を同時に除去した超解像位相差電子顕微鏡法を開発することを目的として3年計画で行われる。本年度は初年度に当たり、当初の計画通り高精度ホローコーンシステムを自作して各種レンズ、偏光コイル系の能動的制御が可能な形で既設の電界放出型電子顕微鏡(HF-2000F)に搭載したことが主な成果である。本年度はまだホローコーン照明への応用は実施されていないが、実時間処理が可能なシステムに仕上げるために、通常の軸上照明法を利用した実時間処理の検討が行われ、国際会議報告を4件、2編の学術論文を発表することができた。
これまでに得られた成果を以下に列記する。
(1) 浮遊型高圧電源を用いた実時間焦点位置変調法により、無収差位相像が4/30秒の時間分解能で観察可能となった。この成果は平成10年にメキシコで行われた第14回国際電子顕微鏡学会で発表し高い評価を得ている。この評価を受けて、平成11年の夏に北京で行われる中国電子顕微鏡学会50周年記念大会での招待講演が決まり、平成11年春期の日本物理学会でも招待講演をする事が決まっている。
(2) 上記の実時間観察により結晶表面を運動する個々の原子を実時間でとらえることに成功し、表面化学への応用の道を拓いた。現在3編の学術論文を執筆中である。
(3) 従来より高分解能で球面収差の影響が除去できるホローコーン照明を併用した焦点位置変調能動型画像処理の特許を出願した。
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